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方辉

作品数：50 被引量：0H指数：0
供职机构：合肥科晶材料技术有限公司更多>>
相关领域：金属学及工艺医药卫生化学工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 50篇中文专利

领域

  • 7篇金属学及工艺
  • 3篇化学工程
  • 3篇医药卫生
  • 2篇机械工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇矿业工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 11篇管式
  • 11篇管式炉
  • 10篇坩埚
  • 8篇加热炉
  • 8篇合金
  • 6篇射频电源
  • 6篇石英
  • 5篇等静压
  • 5篇石墨坩埚
  • 5篇热等静压
  • 5篇雾化
  • 5篇炉管
  • 5篇金属
  • 5篇溅射
  • 5篇感应加热炉
  • 5篇超声
  • 4篇旋转炉
  • 4篇摇摆
  • 4篇真空室
  • 4篇晶体

机构

  • 50篇合肥科晶材料...
  • 1篇上海大学

作者

  • 50篇方辉
  • 49篇邾根祥
  • 19篇江晓平
  • 7篇娄晓峰
  • 4篇王卫
  • 3篇王冲
  • 1篇刘轶
  • 1篇王伟

年份

  • 2篇2023
  • 7篇2022
  • 7篇2021
  • 12篇2020
  • 3篇2019
  • 3篇2018
  • 1篇2017
  • 3篇2016
  • 2篇2015
  • 2篇2014
  • 3篇2013
  • 2篇2012
  • 3篇2011
共 50 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种小型热等静压炉装置
一种小型热等静压炉装置，涉及热等静压设备领域，由温控系统、水冷系统、密封系统、加热系统和安全系统组成，该装置为小型设备，通过特殊合金加工密封系统，增加了使用的安全性；通过陶瓷缸体，内部缠绕环形加热丝进行内部加热，外部设置...
邾根祥朱沫浥方辉江晓平
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一种用于反应磁控溅射的恒压气氛控制系统
本实用新型公开了一种用于反应磁控溅射的恒压气氛控制系统，包括机架，所述机架上设置有质子流量计、混气罐、比例阀及控制盒，质子流量计分别与混气罐和控制盒连接，混气罐与比例阀连接，还包括PLC控制器，比例阀以及控制盒分别与PL...
邾根祥朱沫浥方辉安唐林王卫
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手套箱用感应加热炉
本发明公开了一种手套箱用感应加热炉。包括手套箱整体部分、感应加热电源部分和水冷设备部分，感应加热电源部分位于手套箱整体部分的一侧设置，水冷设备部分位于手套箱整体部分的另一侧设置，还包括铜管馈通部分、热电偶、热电偶支架部分...
邾根祥朱沫浥方辉陶育飞
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可调短距离快速升降温蒸镀炉
本实用新型公开了一种可调短距离快速升降温蒸镀炉，该蒸镀炉包括上加热台及下加热台，所述上加热台及下加热台上下相对置于槽型支架内，所述上加热台具有沿槽型支架上下移动的自由度，所述下加热台具有沿槽型支架底部旋转的自由度；所述上...
邾根祥江晓平方辉
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一种粉末磁控溅射仪
本实用新型公开了一种粉末磁控溅射仪，包括石英腔室组件，所述石英腔室组件内部室体的上方设置有二英寸磁控溅射靶头，且石英腔室组件内部室体的下方设置有震动样品台，所述石英腔室组件的正下方设置有电路控制系统，且石英腔室组件的一侧...
邾根祥朱沫浥江晓平方辉李东明
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三靶等离子溅射仪
本实用新型公开了一种三靶等离子溅射仪，包括壳体，所述壳体内设有溅射真空室及控制室，所述溅射真空室内腔中设有样品台及对样品进行高压镀膜的火花塞；所述溅射真空室下方还设有与其相通的抽真空室，所述抽真空室的真空管道通入溅射真空...
邾根祥江晓平方辉
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一种原位光学测试高温高压炉
本实用新型公开了一种原位光学测试高温高压炉，可专门针对材料在高温高压条件下进行试验以及原位表征。包括开启式管式炉、合金钢炉管，原位光学测试进气法兰以及原位光学测试出气法兰，所述原位光学测试进气法兰和原位光学测试出气法兰分...
邾根祥娄晓峰朱沫浥方辉柴文超
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一种自动收送料等离子回转升降炉系统
本发明公开一种自动收送料等离子回转升降炉系统，包括回转炉体部分、射频电源、送料部分、收料部分、四通道质子流量计控制系统、笔记本电脑、升降机构、真空恒压系统。本发明提供一种可以在真空状态高温下自动送料收料的等离子增强回转升...
邾根祥朱沫浥方辉李东明翁继先
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磁控溅射镀膜仪
本实用新型涉及磁控溅射镀膜仪，包括机架、真空室，真空室包括上盖部件、下盖部件、连接在上盖部件与下盖部件之间的石英玻璃罩，真空室内顶部设置有磁控靶头、真空室外顶部设置有与磁控靶头连接的高压连接器，机架上固定有用于控制高压连...
邾根祥方辉江晓平朱沫浥王卫
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一种有效避免刚玉管断裂的密封法兰系统
本发明公开了一种有效避免刚玉管断裂的密封法兰系统，包括管式炉，所述管式炉的两端均连接有刚玉管。管式炉的两端侧壁均通过螺栓固定有法兰固定平台，法兰固定平台的端部均螺纹固定有四根阵列分布的螺杆。本发明在管式炉的两端侧壁均通过...
邾根祥朱沫浥江晓平方辉陶育飞
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