潘峰
- 作品数：22 被引量：9H指数：2
- 供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国工程物理研究院科学技术发展基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：理学自动化与计算机技术化学工程文化科学更多>>
- 一种元件激光损伤测量方法及装置
- 本发明提供一种元件激光损伤测量方法及装置。测量时，对每一个预设测试点采用基本相同的能量和能量密度的激光脉冲进行逐次多发次辐照，并实时监测测试点的光学图像以判断该测试点是否产生功能性损伤，同时在线获取每一次辐照时的激光能量...
- 张哲潘峰刘志超郑轶汤鹏唐明罗晋吴倩卫耀伟张飞王震
- 一种光学薄膜沉积扫描控制方法及系统
- 本发明实施例提供了一种光学薄膜沉积扫描控制方法及系统，属于光学薄膜沉积扫描控制技术领域。所述方法包括：光电探测器将采集到的预设扫描区域内镀膜材料在电子束光斑扫描下熔化或升华时发出的光信号转化为电信号发送到数据处理装置；数...
- 王震张清华吴倩罗晋卫耀伟潘峰唐明刘志超郑轶李树刚张哲欧阳升汤鹏
- 文献传递
- 一种激光薄膜及其制备方法和应用
- 本发明提供一种激光薄膜及其制备方法和应用，涉及光学薄膜技术领域。一种激光薄膜的制备方法，包括：以HfCl<Sub>4</Sub>和SiCl<Sub>4</Sub>作为前驱体，在90～110℃的条件下采用原子层沉积法在衬底...
- 卫耀伟许乔张清华王建王震吴倩张飞潘峰
- 文献传递
- 一种挡板修正方法、镀膜方法和装置
- 本申请提供一种挡板修正方法、镀膜方法和装置，用于对平面行星式旋转镀膜工艺中挡板的形状进行修正，所述方法包括：获取待镀膜元件上多个待遮挡点的镀膜轨迹，以及获取每一待遮挡点对应的原始膜厚，以及获取待修正挡板中与多个待遮挡点对...
- 罗晋吴倩王震潘峰罗振飞杜雅薇胡建平卫耀伟张飞李树刚唐明王健张清华刘民才
- 文献传递
- 缺陷对HfO_2薄膜的激光弱吸收与损伤阈值的影响被引量：2
- 2015年
- 激光弱吸收是导致光学薄膜损伤的重要原因。在(5~43)mPa的氧分压下制备并测试了一组HfO2薄膜。实验发现,当氧分压小于20mPa时,薄膜弱吸收越大,损伤阈值越低;当氧分压大于20mPa时,薄膜的损伤阈值与弱吸收并不一一对应,具有较高弱吸收的薄膜可能同时具有较高的损伤阈值。建立了缺陷模型,采用有限元法模拟了缺陷对弱吸收测量和损伤阈值测量的影响,分析了缺陷尺寸、密度、吸收系数对弱吸收和损伤阈值的影响。研究结果显示,吸收系数高于薄膜1 000倍的缺陷可以降低薄膜的损伤阈值1 000倍,却并不影响薄膜的弱吸收。缺陷对HfO2薄膜的激光弱吸收与损伤阈值测试有完全不同的影响,是导致某些薄膜弱吸收与损伤阈值背离的原因。
- 刘浩潘峰卫耀伟马平张哲张清华吴倩
- 关键词：激光损伤阈值HFO2薄膜
- 一种提高大口径反射镜镀膜面形精度的方法
- 本发明公开了一种提高大口径反射镜镀膜面形精度的方法，采用了镀膜过程基片面形和高低折射率膜层的综合控制方法：镀膜前针对基片在镀膜过程的形变，采用基片预先翻面退火的方法控制抵消镀膜过程中的基片面形受热引起的变化；采用调节充氧...
- 潘峰王健刘民才吴倩罗晋唐明王震张飞张清华卫耀伟李树刚
- 文献传递
- 制作光学薄膜的方法、膜系结构、镀膜方法、激光反射镜
- 一种制作光学薄膜的方法、膜系结构、镀膜方法、激光反射镜，属于光学设备领域。该方法包括：在基板之上，制作满足光谱指标的第一膜堆；在第一膜堆之上，制作满足面形指标的第二膜堆；在所述第二膜堆之上，制作满足损伤指标的第三膜堆。通...
- 卫耀伟王震张飞李树刚唐明吴倩潘峰罗晋罗振飞刘民才张清华王健许乔
- 文献传递
- 一种遮蔽板确定方法、镀膜方法和装置
- 本申请提供一种遮蔽板确定方法、镀膜方法和装置，应用于对反向行星式旋转镀膜工艺中遮蔽板的形状进行确定，所述方法包括：获取待镀膜元件上多个待镀膜点的初始膜厚，以及获取待镀膜元件的尺寸和镀膜设备的尺寸；根据所述待镀膜元件的尺寸...
- 罗晋张飞卫耀伟李树刚李海波李洁唐明王震吴倩潘峰罗振飞胡建平张清华刘民才王健
- 一种光学晶体表层物理结构缺陷的评价方法
- 本申请提供一种光学晶体表层物理结构缺陷的评价方法，涉及光学加工技术领域。该光学晶体表层物理结构缺陷的评价方法包括：对光学晶体的表层进行全局缺陷扫描，以获取全局缺陷分布图；根据全局缺陷分布图确定关注缺陷的位置；对关注缺陷进...
- 樊非卓瑾金会良潘峰朱玉洁邓雪然耿锋刘志超
- 渐变折射率薄膜制备参数获取方法、制备方法及滤光片
- 本发明提供了一种渐变折射率薄膜制备参数获取方法、制备方法及滤光片，属于薄膜制备工艺技术领域。所述制备参数获取方法包括：获取待制备的渐变折射率薄膜的制备数据，其中，所述制备数据包括所述渐变折射率薄膜的每个膜层的折射率和膜层...
- 卫耀伟刘浩蔡清元王震潘峰张哲刘志超吴倩罗晋欧阳升
