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任永一
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1
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机电部
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合作作者
李景
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章其麟
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关兴国
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1993
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MoCVD生长重掺碳GaAs
1993年
以四氧化碳(CCl_4)为掺杂剂进行了MOCVD生长掺碳GaAs的研究。p-GaAs外延层的最高空穴浓度可达1.8×10^(20)/cm^3,相应的迁移率为37cm^2/V.s。在重掺杂p-GaAs外延层中出现明显的能带收缩和晶格失配。
关兴国
章其麟
李景
任永一
刘燕飞
关键词:
砷化镓
碳掺杂
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