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文献类型

  • 4篇中文专利

主题

  • 2篇电容
  • 2篇量程
  • 2篇基板
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度计
  • 2篇二阶曲线
  • 2篇封装
  • 2篇MEMS加速...
  • 1篇信号
  • 1篇信号处理
  • 1篇信号处理电路
  • 1篇一体化封装
  • 1篇数字式
  • 1篇陶瓷
  • 1篇陶瓷基
  • 1篇陶瓷基板
  • 1篇陀螺
  • 1篇陀螺仪
  • 1篇金属
  • 1篇金丝键合

机构

  • 4篇中国兵器工业...

作者

  • 4篇凌波
  • 3篇王甫
  • 3篇高玉霞
  • 2篇鞠莉娜
  • 2篇王晓臣
  • 2篇张斌
  • 2篇康宝鹏
  • 1篇刘海亮
  • 1篇李杰
  • 1篇乔伟

年份

  • 3篇2015
  • 1篇2013
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
量程可调式MEMS加速度计的参数标定方法
本发明涉及一种量程可调式MEMS加速度计的参数标定方法,用于对由敏感结构和包括两个补偿电容的ASIC电路组成的MEMS加速度计进行标度因数以及补偿电容的标定,其利用加速度计敏感结构的电容变化与输入加速度间的线性关系,分别...
王甫张斌高玉霞康保鹏凌波
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一种新型的MEMS陀螺仪一体化封装
本发明公开了一种新型的MEMS陀螺仪一体化封装,包括以下步骤:1)互连:采用低温陶瓷共烧技术,制造互连的陶瓷基板,使MEMS陀螺结构与ASIC芯片之间形成电气连接;2)封装准备:将LTCC陶瓷基板做成一个整体的无引线封装...
王晓臣康宝鹏凌波李杰鞠莉娜
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一种小型化耐高过载数字式MEMS陀螺仪传感器
本发明公开了一种小型化耐高过载数字式MEMS陀螺仪传感器,在LTCC基板上,通过点胶、金丝键合、共金焊或平行封焊中的一种或多种工艺将MEMS陀螺仪敏感结构和信号处理电路组装上,在LTCC基板上焊接容纳MEMS陀螺仪敏感结...
凌波王晓臣康宝鹏刘海亮鞠莉娜乔伟王甫高玉霞
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量程可调式MEMS加速度计的参数标定方法
本发明涉及一种量程可调式MEMS加速度计的参数标定方法,用于对由敏感结构和包括两个补偿电容的ASIC电路组成的MEMS加速度计进行标度因数以及补偿电容的标定,其利用加速度计敏感结构的电容变化与输入加速度间的线性关系,分别...
王甫张斌高玉霞康保鹏凌波
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共1页<1>
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