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凌波
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中国兵器工业集团
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高玉霞
中国兵器工业集团
王甫
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量程可调式MEMS加速度计的参数标定方法
本发明涉及一种量程可调式MEMS加速度计的参数标定方法,用于对由敏感结构和包括两个补偿电容的ASIC电路组成的MEMS加速度计进行标度因数以及补偿电容的标定,其利用加速度计敏感结构的电容变化与输入加速度间的线性关系,分别...
王甫
张斌
高玉霞
康保鹏
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一种新型的MEMS陀螺仪一体化封装
本发明公开了一种新型的MEMS陀螺仪一体化封装,包括以下步骤:1)互连:采用低温陶瓷共烧技术,制造互连的陶瓷基板,使MEMS陀螺结构与ASIC芯片之间形成电气连接;2)封装准备:将LTCC陶瓷基板做成一个整体的无引线封装...
王晓臣
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一种小型化耐高过载数字式MEMS陀螺仪传感器
本发明公开了一种小型化耐高过载数字式MEMS陀螺仪传感器,在LTCC基板上,通过点胶、金丝键合、共金焊或平行封焊中的一种或多种工艺将MEMS陀螺仪敏感结构和信号处理电路组装上,在LTCC基板上焊接容纳MEMS陀螺仪敏感结...
凌波
王晓臣
康宝鹏
刘海亮
鞠莉娜
乔伟
王甫
高玉霞
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量程可调式MEMS加速度计的参数标定方法
本发明涉及一种量程可调式MEMS加速度计的参数标定方法,用于对由敏感结构和包括两个补偿电容的ASIC电路组成的MEMS加速度计进行标度因数以及补偿电容的标定,其利用加速度计敏感结构的电容变化与输入加速度间的线性关系,分别...
王甫
张斌
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