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方澍

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：中国兵器工业集团更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇中文专利

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇多层布线
  • 2篇多层基板
  • 2篇引线
  • 2篇基板
  • 2篇键合
  • 2篇惯性器件
  • 2篇封装
  • 2篇感器
  • 2篇薄膜多层布线
  • 2篇LTCC基板
  • 2篇布线
  • 2篇布线结构
  • 2篇布线密度
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇底座
  • 1篇电极
  • 1篇电路集成
  • 1篇电桥
  • 1篇压力传感器

机构

  • 8篇中国兵器工业...

作者

  • 8篇方澍
  • 3篇徐姗姗
  • 3篇鞠莉娜
  • 2篇王甫
  • 2篇黄艳辉
  • 2篇田昊
  • 2篇余飞
  • 2篇刘昕
  • 1篇周冬莲

年份

  • 2篇2024
  • 1篇2023
  • 2篇2022
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
一种用于MEMS惯性器件多方向振动与冲击测试的工装
本发明公开了一种用于MEMS惯性器件多方向振动与冲击测试的工装，包括器件固定夹具，其实施为一个立方体结构，六个表面上均开有一个向内凹陷的腔体，且其中一个表面上的腔体继续向内凹陷形成器件容纳腔，器件容纳腔的底壁面上设有固定...
方澍周建国王甫鞠莉娜
一种基于LTCC基板薄膜多层布线制作方法
本发明涉及一种基于LTCC基板薄膜多层布线制作方法，包括如下步骤：对LTCC多层基板抛磨；高温处理；在LTCC基板背面溅射一层钛和铜；第一次光刻，形成导带图形；用CF<Sub>4</Sub>和O<Sub>2</Sub>对...
方澍田昊余飞徐姗姗刘昕
一种混合集成微型四位八段数码LED显示器
本发明公开了一种混合集成微型四位八段数码LED显示器，包括设置在基板上的数码显示电路和控制译码驱动电路，单片机控制段码控制信号与位码控制信号相互配合，以动态扫描的方式实现对4位8段LED的显示控制；基板采用厚膜成膜工艺或...
周冬莲薛峻徐姗姗方澍
文献传递
一种基于LTCC基板薄膜多层布线制作方法
本发明涉及一种基于LTCC基板薄膜多层布线制作方法，包括如下步骤：对LTCC多层基板抛磨；高温处理；在LTCC基板背面溅射一层钛和铜；第一次光刻，形成导带图形；用CF<Sub>4</Sub>和O<Sub>2</Sub>对...
方澍田昊余飞徐姗姗刘昕
文献传递
一种MEMS过载传感器的外壳结构及组封方法
本发明公开了一种MEMS过载传感器的外壳结构及组封方法。其中，该外壳结构包括底座、盖板，所述盖板和底座通过焊接的方式进行封装；所述底座表面经过绝缘阳极氧化处理，盖板表面经过导电氧化处理。本发明提出的技术方案，通过对外壳材...
方澍黄艳辉周铭周建国
一种基于TSV技术的MEMS火工品及其制作方法
本发明公开了一种基于TSV技术的MEMS火工品及制作方法。其中，该火工品包括多晶硅电桥、TSV结构以及凸点。所述TSV结构为圆柱型，包括设置在中间的硅柱、设置在硅柱周围的氧化层和第一多晶硅，氧化层和第一多晶硅作为绝缘层把...
方澍王甫鞠莉娜齐越
一种基于LTCC的耐高温压力传感器及其制作方法
本发明公开了一种基于LTCC的耐高温压力传感器及其制作方法，包括由上向下依次相接的上电极基座、上固定电极、上压力空腔、上压力敏感膜、中间可动电极、下压力敏感膜、下压力空腔、下固定电极、下电极基座；所述上电极基座、下电极基...
方澍
文献传递
一种MIMU的组封装结构及其组封装方法
本发明公开了一种MIMU的组封装结构及其组封装方法，包括底座、盖帽和支座架；本发明通过对组封装结构的合理设计、分体式组装方式和螺纹连接的外壳封装方法，满足了MIMU三个方向的MEMS加速度和MEMS陀螺仪可选用同种类型的...
方澍鞠莉娜周建国黄艳辉
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