崔建利
- 作品数：25 被引量：35H指数：4
- 供职机构：中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山西省基础研究计划项目教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 基于NOA73微球与SU-8微柱的微探针制作(英文)
- 2015年
- 集成紫外固化胶NOA73微球与SU-8微柱制造的亚毫米探针,可以作为关键部件应用于三坐标测量机。NOA73微球通过NOA73对其他溶液的界面张力形成,柱子由深紫外光穿过微球曝光SU-8形成。这种新技术利用甘油补偿NOA73与空气折射率差,使得紫外光透过NOA73微球后保持接近平行。最终得到高深宽比的探针结构,高度超过1 200μm,微柱侧壁与基底呈89°。
- 王伟王伟贾志浩段俊萍崔建利张斌珍
- 关键词：探针坐标测量机微机电系统
- 基于高分子聚合物毫米波滤波器快速制造技术被引量：1
- 2015年
- 利用UV-LIGA技术制作毫米波腔体滤波器SU-8主模结构,通过聚二甲基硅氧烷(PDMS)对所制作的SU-8主模结构进行一次复制,得到多个相同的负模结构,将负模结构浸泡在羟丙基甲基纤维素(HPMC)溶液中进行表面防粘处理。处理后,使用PDMS-PDMS软光刻技术和NOA73紫外固化技术进行二次复制,得到PDMS和NOA73材料的毫米波腔体滤波器。对快速复制出的滤波器的表面形貌、结构尺寸进行观测,对其电磁性能(中心频率、带宽、插损和回波损耗)进行测试。结果显示,该方法制备出的毫米波滤波器具有较好的电磁性能。采用该方法制作的毫米波腔体滤波器具有生产周期短、成本低、效率高和结构可靠的特点。
- 崔建利段俊萍赵龙张斌珍
- 关键词：毫米波电磁性能软光刻
- 新型多功能电镀测试架
- 本发明为一种新型多功能电镀测试架，能同时测试电铸液的分散能力、覆盖能力和整平能力。本发明包括两根支架主梁，两个支架主梁上固定有三组阳极插槽，三组阳极插槽的两侧各固定有一根支架侧梁，两根支架主梁上位于各组阳极插槽之间的位置...
- 张斌珍徐苏坪王雄师杨昕赵龙崔建利
- 文献传递
- 采用盲孔填充技术制备金属微电极阵列
- 2017年
- 针对目前MEMS工艺里由于微电铸铸层内应力导致的金属微结构与基底容易脱离的问题和不足,提出一种借助盲孔填充技术制备微电极阵列的方法。选择KMPR作为胶模材料,首先通过UV-LIGA工艺制备出180μm厚的阵列孔缝胶模结构,然后在胶模表面溅射Cu种子层,优化电铸工艺参数:电铸前采用真空润湿的方法排出孔缝内气泡,电铸液中加速剂与抑制剂浓度分别为4×10^(-6)mol/L和24×10^(-6)mol/L,电流密度为1 A/dm^2,在孔缝内电铸铜,并在胶模表面电铸出铜基底,最后获得了高180μm,线宽200μm的两种柱状金属微电极阵列。试验结果表明,盲孔填充技术是一种低成本、安全的制作金属微电极阵列的方法。
- 杨昕张斌珍南雪莉崔建利王万军
- 关键词：UV-LIGA
- 基于CNTs/PDMS介电层的柔性压力传感特性研究被引量：8
- 2017年
- 提出一种基于MEMS工艺的柔性压力传感器制备方法。采用MEMS工艺制备柔性压力传感器模板,结合纳米压印技术、射频磁控溅射技术和PDMS软光刻工艺在PDMS柔性基底上制备了具有"V"型阵列微结构的Ag薄膜平行板电极,基于碳纳米管(CNTs)/PDMS聚合物的压电容特性,制备出电容式柔性压力传感器。针对不同尺寸的压力传感器进行对比测试,本文制作的压力传感器的灵敏度能够达到3.98%k Pa-1,具有良好的重复性,在智能穿戴和电子皮肤等方面有着广阔的应用前景。
- 赵学峰崔建利高飞张志东闫树斌
- 关键词：MEMSPDMS
- 基于紫外厚胶的微悬臂结构设计与加工被引量：1
- 2015年
- 研究了一种以SU-8光刻胶为结构材料的微悬臂结构。通过控制紫外光刻过程中的曝光剂量,仅仅使光刻胶的上部分发生交联,下部分的光照强度不足以发生交联反应,制作了厚度从149μm到345μm不等的微悬臂结构,并通过分析得出了悬臂厚度与曝光剂量的关系式。结果显示,采用该方法所制作的悬臂结构具有质量轻、价格便宜、操作灵活性大等特点,为制作出复杂的三维空间悬臂结构奠定了基础。与传统以硅或金属材料为基础的微悬臂相比,能够更好地适应目前微型传感器的发展趋势,具有非常广阔的发展空间。
- 赵龙张斌珍段俊萍崔建利
- 关键词：微悬臂梁SU-8交联反应紫外光刻
- 基于MEMS工艺柔性压力传感器制备与测试
- 提出一种基于MEMS工艺的柔性压力传感器制备方法。采用MEMS工艺制备柔性压力传感器模板,结合纳米压印技术、射频磁控溅射技术和PDMS倒模工艺在PDMS上制备了'V'型Ag薄膜平行板电极的电容式柔性压力传感器。针对'V'...
- 崔建利张斌珍段俊萍赵龙
- 关键词：PDMSMEMS
- 文献传递
- 基于MEMS工艺的毫米波喇叭天线的制作方法
- 本发明涉及喇叭天线的制作方法，具体为基于MEMS工艺的毫米波喇叭天线的制作方法，包括以下步骤：选取基片，基片清洗后旋涂感光胶并紫外光刻，得到喇叭天线阵列的模具；在模具上覆盖一层可固化的柔性材料，待柔性材料固化后揭下模具，...
- 张斌珍薛晨阳段俊萍崔建利王伟贾志浩毛静南雪莉
- 文献传递
- 一种近方脊滤波器的设计与快速制造（英文）被引量：4
- 2017年
- 滤波器是信号传输系统中的重要组件.提出一种快速、高精度复制工艺方法,用于设计和制备WR-10波段矩形波导滤波器.采用多层匀胶单次紫外曝光工艺(硅片上匀SU-8胶),制备出的滤波器高度误差小于0.03%(3μm),陡直度误差小于1.1o.实验结果表明,用该方法制备毫米波滤波器技术可行,并取得了卓越的电磁性能(关于:插入损耗,回波损耗和带宽).最终测试结构可知,通带内的插入损耗测得结果小于0.5 dB,几乎可以忽略不计,在整个通带内回拨损耗大于10 dB.结果表明,这种快速制造技术是制备太赫兹射频器件的一种有效办法,这种新技术将成为推动太赫兹射频器件未来发展的主要动力.
- 南雪莉张斌珍崔建利杨昕葛少雷
- 关键词：微波滤波器矩形波导W波段
- 基于牺牲层技术的太赫兹波导耦合器及其制备方法
- 本发明涉及太赫兹波导耦合器的制备技术，具体是一种基于牺牲层技术的太赫兹波导耦合器及其制备方法。本发明解决了现有太赫兹波导耦合器的制备技术制备过程复杂、制备成本高、制备出的太赫兹波导耦合器精度低、表面粗糙度大、损耗大、功率...
- 张斌珍南雪莉孙玉洁王伟贾志浩毛静崔建利赵龙徐苏萍
