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王继周

作品数：16 被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 16篇中文专利

主题

  • 13篇半导体
  • 7篇半导体行业
  • 6篇晶圆
  • 4篇作业时间
  • 4篇缓存
  • 4篇机械手
  • 4篇工位
  • 4篇光刻
  • 4篇半导体设备
  • 3篇示教
  • 3篇接口单元
  • 3篇光刻机
  • 3篇半导体生产
  • 3篇半导体制造
  • 3篇半导体制造设...
  • 2篇正常使用状态
  • 2篇示教系统
  • 2篇手臂
  • 2篇通信
  • 2篇无线

机构

  • 16篇沈阳芯源微电...

作者

  • 16篇王继周
  • 11篇张爽
  • 1篇宗润福

年份

  • 3篇2017
  • 4篇2016
  • 5篇2015
  • 3篇2014
  • 1篇2013
共 16 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
用于半导体设备内的晶圆缓存装置
本发明属于半导体行业晶圆处理领域，具体地说是一种用于半导体设备内的晶圆缓存装置，包括第一晶圆盒、第二晶圆盒、第一气缸、第二气缸及底板，其中第一气缸及第二气缸分别安装在底板上，所述第一晶圆盒与第二晶圆盒分别连接于第一气缸及...
张爽王继周门恩国
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一种半导体制造设备的自动移动装置
本发明属于半导体行业晶圆涂胶显影生产领域，具体地说是一种半导体制造设备的自动移动装置，可用于TRACK与光刻机相连接的接口单元，固定架安装在基础上，在固定架上设有通过伺服电机驱动的传动装置，滑动底座位于固定架的上方，滑动...
王继周门恩国胡延兵张爽
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一种机械手自动示教系统及控制方法
本发明涉及一种机械手自动示教系统，包括机械手无线通信模块连接机械手控制器，接收机械手控制器发出的控制信号，与机械手控制器进行通信；机械手连接机械手无线通信模块，接收机械手无线通信模块的控制信号，移动到目标位置；自动示教用...
王继周张爽
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一种前开式晶片盒
本发明涉及半导体制造设备中的晶片盒，具体地说是一种可自动防止晶片在设备移动过程中滑出的前开式晶片盒，包括片盒体、带电磁阀的回转气缸及挡杆，其中片盒体为半开放式结构，片盒体内设有多个容置晶片的插槽；所述回转气缸安装在片盒体...
张爽王继周门恩国
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一种机械手自动示教系统及方法
本发明涉及使用机械手对晶圆等产品进行传输的半导体生产制造领域，具体是一种机械手自动示教系统及方法，机械手无线通信模块连接机械手控制器，接收机械手控制器发出的控制信号，与机械手控制器进行通信；机械手连接机械手无线通信模块，...
王继周张爽
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一种自动清除半导体生产过程中废液排放管路堵塞的装置
本发明涉及半导体生产过程中废液的排放设备，具体地说是一种自动清除半导体生产过程中废液排放管路堵塞的装置，包括废液收集箱、清洗液供给泵、清洗液控制阀、清洗液槽、废液排放箱、排液控制阀、废液收集槽及清洗废液收集槽，废液收集箱...
门恩国王继周
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用于半导体设备内的晶圆缓存装置
本发明属于半导体行业晶圆处理领域，具体地说是一种用于半导体设备内的晶圆缓存装置，包括第一、二晶圆盒、电机、底板及回转板，电机安装在底板上，输出端连接有回转板，第一、二晶圆盒分别安装在回转板的上表面，随回转板由电机驱动回转...
张爽王继周
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用于半导体设备内的晶圆缓存装置
本发明属于半导体行业晶圆处理领域，具体地说是一种用于半导体设备内的晶圆缓存装置，包括第一晶圆盒、第二晶圆盒、第一气缸、第二气缸及底板，其中第一气缸及第二气缸分别安装在底板上，所述第一晶圆盒与第二晶圆盒分别连接于第一气缸及...
张爽王继周门恩国
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一种自动清除废液排放管路堵塞的装置
本发明涉及半导体生产过程中废液的排放设备，具体地说是一种自动清除废液排放管路堵塞的装置，包括废液收集箱、清洗液供给泵、清洗液控制阀、清洗液槽、废液排放箱、排液控制阀、废液收集槽及清洗废液收集槽，废液收集箱的一个入口依次与...
门恩国王继周
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保持接口单元内部洁净度装置
本发明属于半导体行业晶圆涂胶显影生产领域，具体地说是一种保持接口单元内部洁净度装置。所述装置设置于与TRACK及光刻机连接的接口单元两侧开口部处，包括遮蔽挡板和与其连接的驱动装置，所述遮蔽挡板通过驱动装置驱动关闭或打开接...
王继周张爽胡延兵门恩国
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