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刘艳松

作品数：12 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 2篇会议论文

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 4篇贴膜
  • 4篇晶圆
  • 4篇MEMS
  • 3篇光刻
  • 3篇成像
  • 2篇摇摆
  • 2篇翘曲
  • 2篇轴向
  • 2篇镂空
  • 2篇吸盘
  • 2篇晶片
  • 2篇空区
  • 2篇键合
  • 2篇光刻技术
  • 2篇光学
  • 2篇烘干
  • 2篇分辨率
  • 2篇高温
  • 2篇高温处理
  • 2篇摆放

机构

  • 12篇中国科学院微...

作者

  • 12篇刘艳松
  • 9篇赵超
  • 5篇丁明正
  • 4篇李俊峰
  • 2篇韦亚一
  • 2篇董立松
  • 1篇孟令款
  • 1篇贺晓彬

年份

  • 1篇2021
  • 1篇2020
  • 2篇2019
  • 1篇2018
  • 4篇2017
  • 1篇2014
  • 2篇2013
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
电子束光刻方法
本发明公开了一种电子束光刻方法，包括：在结构材料层上形成硬掩模层；在硬掩模层上形成电子束光刻胶；采用电子束曝光系统，对电子束光刻胶进行曝光，其中通过增加曝光剂量来提高电子束光刻胶的抗刻蚀性；采用显影液对曝光后的电子束光刻...
贺晓彬孟令款丁明正刘艳松
文献传递
一种MEMS晶圆切割方法及MEMS芯片制作方法
本申请公开MEMS晶圆切割方法及MEMS芯片制作方法，MEMS晶圆切割方法包括：将提供的MEMS晶圆贴在第一贴膜上，使MEMS晶圆上的MEMS芯片元件区位于第一贴膜的镂空区内；对MEMS晶圆背离MEMS芯片的表面进行切割...
刘艳松赵超
文献传递
一种MEMS晶圆切割方法及MEMS芯片制作方法
本申请公开MEMS晶圆切割方法及MEMS芯片制作方法，MEMS晶圆切割方法包括：将提供的MEMS晶圆贴在第一贴膜上，使MEMS晶圆上的MEMS芯片元件区位于第一贴膜的镂空区内；对MEMS晶圆背离MEMS芯片的表面进行切割...
刘艳松赵超
一种晶圆临时键合方法
本申请公开一种晶圆临时键合方法，包括：提供并清洗器件晶圆和载片；在所述载片和/或所述器件晶圆上滴液体；利用所述液体的表面张力将所述载片和所述器件晶圆形成键合体；对所述键合体中的器件晶圆进行背面工艺处理；将所述载片与所述器...
刘艳松赵超丁明正李俊峰
添加亚分辨率辅助图形的方法及该方法的应用
本发明提供了一种添加亚分辨率辅助图形的方法及该方法的应用。该方法包括以下步骤：S1，从原始版图中截取具有周期结构的图形，得到待修正版图；S2，将待修正版图通过反向光刻技术进行修正，得到修正后版图，修正后版图包括符合成像要...
左晔华韦亚一刘艳松董立松
一种MEMS晶片的贴膜对准装置
本发明提供一种MEMS晶片的贴膜对准装置，包括基座、膜托固定区、摇摆臂、吸盘、升降机构、第一限位结构和第二限位结构；膜托固定区，设置于基座的一侧；摇摆臂包括固定杆和支撑臂，固定杆固定于基座的另一侧，支撑臂的轴向垂直于固定...
刘艳松赵超
文献传递
硅基分子筛
在生命科学高度发展的今天，生物分子的研究必须基于一组高效的分离和净化系统。基于MEMS技术的发展，我们在超薄LPCVD(低压化学气相沉积)氮化硅上，成功地制备了孔径一致，且排列有序硅基分子筛。基于半导体技术，该微筛可以低...
刘艳松丁明正李俊峰赵超
一种MEMS晶片的贴膜对准装置
本发明提供一种MEMS晶片的贴膜对准装置，包括基座、膜托固定区、摇摆臂、吸盘、升降机构、第一限位结构和第二限位结构；膜托固定区，设置于基座的一侧；摇摆臂包括固定杆和支撑臂，固定杆固定于基座的另一侧，支撑臂的轴向垂直于固定...
刘艳松赵超
文献传递
一种分子筛及其制作方法
本申请公开一种分子筛及其制作方法，所述分子筛包括过滤层和支撑层，过滤层位于支撑层上方，筛区包括多个筛子单元，筛子单元包括多个贯穿过滤层的柱形孔，其中，柱形孔的直径只有分子直径小于柱形孔直径的物质才可能通过分子筛的中空通道...
刘艳松赵超
文献传递
添加亚分辨率辅助图形的方法及该方法的应用
本发明提供了一种添加亚分辨率辅助图形的方法及该方法的应用。该方法包括以下步骤：S1，从原始版图中截取具有周期结构的图形，得到待修正版图；S2，将待修正版图通过反向光刻技术进行修正，得到修正后版图，修正后版图包括符合成像要...
左晔华韦亚一刘艳松董立松
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