您的位置： 专家智库 > >

闫冠勇

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇特殊设计
  • 2篇主成分
  • 2篇像差
  • 2篇焦深
  • 2篇多元线性回归
  • 2篇波像差

机构

  • 2篇中国科学院上...

作者

  • 2篇李思坤
  • 2篇李兆泽
  • 2篇杨济硕
  • 2篇王向朝
  • 2篇闫冠勇

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
光刻投影物镜波像差和成像最佳焦面的检测方法
一种光刻投影物镜波像差和成像最佳焦面的检测方法，通过对特殊设计的二维检测标记在最佳焦面位置的仿真空间像进行主成分分析和多元线性回归，提取出包含像差影响的空间像的主成分和线性回归矩阵，利用主成分拟合实测空间像，以拟合残差的...
李思坤王向朝杨济硕闫冠勇李兆泽
文献传递
光刻投影物镜波像差和成像最佳焦面的检测方法
一种光刻投影物镜波像差和成像最佳焦面的检测方法，通过对特殊设计的二维检测标记在最佳焦面位置的仿真空间像进行主成分分析和多元线性回归，提取出包含像差影响的空间像的主成分和线性回归矩阵，利用主成分拟合实测空间像，以拟合残差的...
李思坤王向朝杨济硕闫冠勇李兆泽
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0