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王永顺
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北京大学
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北京大学
张晖
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刘晓卫
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谭长华
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许铭真
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王永顺
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1992
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陷阱电荷弛豫谱方法及其测量系统
本发明属半导体测量技术,具体地说,就是涉及MOS系统中绝缘层陷阱电荷的检测技术。陷阱电荷弛豫谱方法及其测量系统(TCRS)采用一种新的差值取样技术和高分辨率的共模输入电流补偿测试电路,首次解决了绝缘层陷阱参数的直接测量和...
谭长华
许铭真
王阳元
张晖
刘晓卫
王永顺
陷阱电荷弛豫谱方法及其测量系统
本发明属半导体测量技术,具体地说,就是涉及MOS系统中绝缘层陷阱电荷的检测技术。陷阱电荷弛豫谱方法及其测量系统(TCRS)采用一种新的差值取样技术和高分辨率的共模输入电流补偿测试电路,首次解决了绝缘层陷阱参数的直接测量和...
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