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冯克勤

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院西安光学精密机械研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇荫罩
  • 2篇照像
  • 2篇双折射
  • 2篇基板
  • 2篇玻璃基
  • 2篇玻璃基板

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇李金科
  • 2篇冯克勤

年份

  • 1篇2002
  • 1篇1999
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
接触照像复制法生产荫罩版用的玻璃基板
以接触式照像复制法生产荫罩版用的玻璃基板，本发明以应力双折射方法测得的应力值表示基板强度，适用于生产的玻璃基板的应力值范围为100-200nm，并且是至少三点的极大应力值；使用本发明确定的玻璃基板具有无在线炸裂现象、研磨...
李金科冯克勤
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接触照像复制法生产荫罩版用的玻璃基板
以接触式照像复制法生产荫罩版用的玻璃基板,本发明以应力双折射方法测得的应力值表示基板强度,适用于生产的玻璃基板的应力值范围为100—200nm,并且是至少三点的极大应力值;使用本发明确定的玻璃基板具有无在线炸裂现象、研磨...
李金科冯克勤
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