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侯莉颖

作品数：9 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇光刻
  • 4篇光刻机
  • 2篇迭代
  • 2篇远距离
  • 2篇照明
  • 2篇照明控制
  • 2篇输出信号
  • 2篇探测器
  • 2篇平行平板
  • 2篇装调
  • 2篇位置敏感探测...
  • 2篇系统结构
  • 2篇系统性能
  • 2篇脉冲
  • 2篇脉冲激光
  • 2篇激光
  • 2篇监测系统
  • 2篇光束
  • 2篇光楔
  • 2篇光学

机构

  • 9篇中国科学院上...

作者

  • 9篇黄惠杰
  • 9篇黄立华
  • 9篇侯莉颖
  • 4篇何国俊
  • 3篇胡小邦
  • 2篇王俊
  • 2篇马兴华
  • 2篇谢承科
  • 2篇任冰强
  • 2篇曾爱军
  • 2篇张友宝
  • 2篇彭雪峰
  • 1篇李璟
  • 1篇杨宝喜

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 3篇2014
  • 1篇2013
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
一种光刻机照明控制测试系统及方法
本发明公开了一种光刻机照明控制测试系统及方法，控制测试系统包括功能控制模块、性能测试与处理模块、报告生成模块和安全监测模块；测试方法包括对光场性能和光瞳性能进行测试及处理，并将处理结果传输给控制中心模块；根据性能测试与处...
张友宝马兴华胡小邦谢承科黄立华侯莉颖黄惠杰
位置敏感探测器输出信号的处理电路与处理方法
一种脉冲激光照射下位置敏感探测器输出信号的处理电路与处理方法，所述的处理电路由前端处理电路、通道切换电路和输出电路组成，所述的前端处理电路包括多组功能完全相同的子电路，每一组子电路处理一个PSD输出的电流信号，所以，前端...
侯莉颖黄立华何国俊黄惠杰
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长导轨直线度测量装置
一种长导轨直线度测量装置，包括测量头、角锥镜装置和计算机；测量头包括激光器，依次排列在激光器出射光路上的第一反射镜、第二反射镜、第一激光准直扩束镜、光阑、第三反射镜、分光镜和窗口玻璃，位于测量光路上的第二激光准直扩束镜、...
杨宝喜李璟胡小邦侯莉颖黄立华黄惠杰
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一种光刻机照明控制测试系统及方法
本发明公开了一种光刻机照明控制测试系统及方法，控制测试系统包括功能控制模块、性能测试与处理模块、报告生成模块和安全监测模块；测试方法包括对光场性能和光瞳性能进行测试及处理，并将处理结果传输给控制中心模块；根据性能测试与处...
张友宝马兴华胡小邦谢承科黄立华侯莉颖黄惠杰
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应用于远距离的光束稳定装置和光束稳定方法
一种应用于远距离的光束稳定装置及稳定方法，包括置于光源与后续光学系统之间的传输光路中光束初稳定单元和光束精稳定单元。本发明能实现对光束长距离传输时出现的大尺度位置和指向偏移量的光束进行快速、高精度的稳定。
黄立华何国俊侯莉颖黄惠杰
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光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法
一种光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法，装置由照明单元、指向偏移引入单元、光束位置偏移引入单元和控制单元构成，利用平行平板引入光束位置偏差和双圆光楔引入指向偏差，分别调节平行平板和光楔对光束监测系统进行标定。本发明具...
黄立华王俊侯莉颖彭雪峰任冰强曾爱军黄惠杰
文献传递
应用于远距离的光束稳定装置和光束稳定方法
一种应用于远距离的光束稳定装置及稳定方法，包括置于光源与后续光学系统之间的传输光路中光束初稳定单元和光束精稳定单元。本发明能实现对光束长距离传输时出现的大尺度位置和指向偏移量的光束进行快速、高精度的稳定。
黄立华何国俊侯莉颖黄惠杰
文献传递
光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法
一种光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法，装置由照明单元、指向偏移引入单元、光束位置偏移引入单元和控制单元构成，利用平行平板引入光束位置偏差和双圆光楔引入指向偏差，分别调节平行平板和光楔对光束监测系统进行标定。本发明具...
黄立华王俊侯莉颖彭雪峰任冰强曾爱军黄惠杰
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位置敏感探测器输出信号的处理电路与处理方法
一种脉冲激光照射下位置敏感探测器输出信号的处理电路与处理方法，所述的处理电路由前端处理电路、通道切换电路和输出电路组成，所述的前端处理电路包括多组功能完全相同的子电路，每一组子电路处理一个PSD输出的电流信号，所以，前端...
侯莉颖黄立华何国俊黄惠杰
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