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黄世光
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2
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清华大学
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王同舟
清华大学
符荣鑫
清华大学
张俊琪
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黄国亮
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2篇
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黄世光
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王同舟
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2016
1篇
2014
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一种横向分辨率达到1nm的干涉旋转映射检测方法
一种横向分辨率达到1nm的干涉旋转映射检测方法,其特征在于该方法设计了一种双臂干涉显微系统。该系统能够将参考反射面与被测物的像呈现在统一位置,从而使其发生干涉。干涉所形成的光谱或条纹可以映射出被测点处的光程差。被测物下方...
黄国亮
王同舟
张俊琪
黎琦
符荣鑫
黄琴
汪汝亮
黄世光
张梓宁
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一种横向分辨率达到1nm的干涉旋转映射检测方法
一种横向分辨率达到1nm的干涉旋转映射检测方法,其特征在于该方法设计了一种双臂干涉显微系统。该系统能够将参考反射面与被测物的像呈现在统一位置,从而使其发生干涉。干涉所形成的光谱或条纹可以映射出被测点处的光程差。被测物下方...
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