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张成林

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：西北工业大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇湿法腐蚀
  • 1篇斜线
  • 1篇结构尺寸
  • 1篇刻蚀
  • 1篇刻蚀工艺
  • 1篇硅材料
  • 1篇硅基
  • 1篇硅基材料
  • 1篇干法刻蚀
  • 1篇干法刻蚀工艺

机构

  • 1篇西北工业大学

作者

  • 1篇李薇
  • 1篇黎永前
  • 1篇张成林

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种硅材料锥形结构及其制备方法
本发明公开了一种硅底材料锥形结构及其制备方法，属于硅微加工技术领域。本发明将硅基材料干法刻蚀工艺与各向异性湿法腐蚀工艺、各向同性湿法腐蚀工艺相结合，制备出硅材料锥形结构，并用于微透镜的聚合物复制。所述硅材料锥形结构，包括...
黎永前李薇郭勇君张成林
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