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向小燕

作品数：8 被引量：2H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
相关领域：机械工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇机械工程
  • 2篇理学

主题

  • 5篇共焦
  • 4篇衍射
  • 4篇偏振
  • 4篇线偏振
  • 4篇光栅
  • 4篇光栅衍射
  • 3篇滤波器
  • 2篇信号
  • 2篇四象限探测器
  • 2篇探测器
  • 2篇同步移相
  • 2篇偏振光
  • 2篇强信号
  • 2篇微结构器件
  • 2篇微位移测量
  • 2篇位相
  • 2篇位相滤波器
  • 2篇线偏振光
  • 2篇相位光栅
  • 2篇象限

机构

  • 8篇哈尔滨工业大...

作者

  • 8篇向小燕
  • 7篇谭久彬
  • 7篇黄向东

年份

  • 2篇2018
  • 1篇2017
  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
分瞳式移相干涉共焦微位移测量装置
本发明涉及一种分瞳式移相干涉共焦微位移测量装置，属于超精密测量领域。该装置解决了基于PBS分光的移相干涉共焦系统中存在的抗干扰能力差，系统结构复杂、集成度低的问题。本发明装置主要包括四路移相干涉光路和分瞳式共焦差分探测光...
黄向东谭久彬向小燕
文献传递
基于同步移相干涉的动压马达气膜间隙测量装置及方法
基于同步移相干涉的动压马达气膜间隙测量装置及方法，涉及一种动压马达气膜间隙测量装置及方法。解决了目前电容传感器测量工作距离小、激光三角传感器测量精度受限的问题。本发明装置主要包括干涉系统、正交光栅分光以及移相装置、图像采...
黄向东谭久彬向小燕
文献传递
分瞳移焦型共焦显微差分测量方法及装置
本发明涉及一种分瞳移焦型共焦差分测量方法与装置，属于超精密测量与三维成像领域。该装置解决了常用的基于偏振分光棱镜分光的差动共焦系统集成度低、两个针孔探测器探测同步性难以保证的问题。本发明装置主要包括线偏振光源系统、棱镜分...
黄向东谭久彬向小燕
光栅分光式同步移相干涉测量装置及方法
光栅分光式同步移相干涉测量装置及方法，属于超精密测量技术领域。本发明为了解决现有的同步移相干涉检测技术增加了实验装置的调整难度，干涉条纹解算复杂，并且两光栅的正交程度和偏振片组光轴对准程度会引入新的误差来源的问题。本发明...
黄向东向小燕谭久彬
文献传递
分瞳式移相干涉共焦微位移测量装置
本发明涉及一种分瞳式移相干涉共焦微位移测量装置，属于超精密测量领域。该装置解决了基于PBS分光的移相干涉共焦系统中存在的抗干扰能力差，系统结构复杂、集成度低的问题。本发明装置主要包括四路移相干涉光路和分瞳式共焦差分探测光...
黄向东谭久彬向小燕
文献传递
光栅分光式移相干涉差分共焦位移传感技术研究
随着微电子、微机械、微光学等技术的发展，测量分辨力、范围、工作距等超精密测量指标在结构表面形貌高精度测量、凸台高度绝对微位移测量等几何量超精密测量领域有着更高的发展需求。同步移相干涉技术具有抗环境振动和高分辨力的特点，广...
向小燕
关键词：光学仪器光瞳滤波器
分瞳移焦型共焦显微差分测量方法及装置
本发明涉及一种分瞳移焦型共焦差分测量方法与装置，属于超精密测量与三维成像领域。该装置解决了常用的基于偏振分光棱镜分光的差动共焦系统集成度低、两个针孔探测器探测同步性难以保证的问题。本发明装置主要包括线偏振光源系统、棱镜分...
黄向东谭久彬向小燕
文献传递
光栅分光式同步移相干涉测量装置及方法
光栅分光式同步移相干涉测量装置及方法，属于超精密测量技术领域。本发明为了解决现有的同步移相干涉检测技术增加了实验装置的调整难度，干涉条纹解算复杂，并且两光栅的正交程度和偏振片组光轴对准程度会引入新的误差来源的问题。本发明...
黄向东向小燕谭久彬
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