张为权
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
- 供职机构：浙江大学更多>>
- 激光双焦干涉球面轮廓仪
- 一种激光双焦干涉球面轮廓仪,共特征是设有双焦透镜组4和五维扫描工作台6。同现有技术比较,其优点是仪器抗干扰能力强,适用范围广,检测精度高,如能对各种反射率的球面微观轮廓和平面微观轮廓进行精密检测,纵向分辨率为0.1nm,...
- 卓永模杨甬英徐敏张为权
- 文献传递
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