您的位置： 专家智库 > >

管文超

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 6篇掩模
  • 6篇光刻
  • 5篇紫外光刻
  • 5篇极紫外
  • 4篇多层膜
  • 4篇散射
  • 4篇极紫外光刻
  • 4篇仿真
  • 4篇仿真方法
  • 3篇近似法
  • 2篇散射法
  • 2篇散射理论
  • 2篇相位
  • 2篇相位补偿
  • 2篇接触孔
  • 2篇光刻掩模
  • 1篇衍射
  • 1篇振幅
  • 1篇椭球

机构

  • 6篇中国科学院上...

作者

  • 6篇李思坤
  • 6篇王向朝
  • 6篇管文超
  • 4篇刘晓雷
  • 2篇步扬
  • 2篇张恒

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 1篇2014
共 6 条 记 录，以下是 1-6
全选 清除 导出
排序方式：
极紫外光刻含相位型缺陷接触孔掩模衍射谱的快速仿真方法
一种极紫外光刻含相位型缺陷接触孔掩模衍射谱的快速仿真方法,所述方法将吸收层通过薄掩模近似法建模,将含相位型缺陷多层膜等效为一个双层回转椭球与无缺陷多层膜两部分组合的结构，并分别通过米散射理论和等效膜层法对双层回转椭球和无...
管文超王向朝李思坤张恒
文献传递
极紫外光刻含缺陷掩模衍射谱的快速严格仿真方法
一种极紫外光刻含缺陷掩模衍射谱的快速严格仿真方法，该方法将含缺陷多层膜分为无缺陷部分和含缺陷部分两部分，并通过分割法和等效膜层法建模。首先通过薄掩模近似和相位补偿得到掩模吸收层衍射谱，再经过含缺陷多层膜的衍射，最后通过薄...
刘晓雷李思坤王向朝步扬管文超
文献传递
极紫外光刻掩模多层膜振幅型缺陷衍射谱的快速仿真方法
一种极紫外光刻掩模多层膜振幅型缺陷衍射谱的快速仿真方法,所述方法将多层膜振幅型缺陷分为缺陷颗粒与多层膜两部分，并分别通过米散射法和单平面近似法建模。本发明提供了一种可有效仿真极紫外光刻掩模多层膜振幅型缺陷衍射谱的方法,提...
管文超王向朝李思坤刘晓雷
文献传递
极紫外光刻含相位型缺陷接触孔掩模衍射谱的快速仿真方法
一种极紫外光刻含相位型缺陷接触孔掩模衍射谱的快速仿真方法,所述方法将吸收层通过薄掩模近似法建模,将含相位型缺陷多层膜等效为一个双层回转椭球与无缺陷多层膜两部分组合的结构，并分别通过米散射理论和等效膜层法对双层回转椭球和无...
管文超王向朝李思坤张恒
文献传递
极紫外光刻含缺陷掩模衍射谱的快速严格仿真方法
一种极紫外光刻含缺陷掩模衍射谱的快速严格仿真方法，该方法将含缺陷多层膜分为无缺陷部分和含缺陷部分两部分，并通过分割法和等效膜层法建模。首先通过薄掩模近似和相位补偿得到掩模吸收层衍射谱，再经过含缺陷多层膜的衍射，最后通过薄...
刘晓雷李思坤王向朝步扬管文超
文献传递
极紫外光刻掩模多层膜振幅型缺陷衍射谱的快速仿真方法
一种极紫外光刻掩模多层膜振幅型缺陷衍射谱的快速仿真方法,所述方法将多层膜振幅型缺陷分为缺陷颗粒与多层膜两部分，并分别通过米散射法和单平面近似法建模。本发明提供了一种可有效仿真极紫外光刻掩模多层膜振幅型缺陷衍射谱的方法,提...
管文超王向朝李思坤刘晓雷
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0