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童章进

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 4篇投影物镜
  • 4篇物镜
  • 3篇密封
  • 3篇光刻
  • 3篇光刻机
  • 2篇气体
  • 2篇气体回收
  • 2篇气体压力
  • 2篇气液
  • 2篇锥孔
  • 2篇回收
  • 2篇光刻系统
  • 2篇步进
  • 1篇气液分离
  • 1篇流场
  • 1篇非接触
  • 1篇非接触式

机构

  • 5篇浙江大学

作者

  • 5篇童章进
  • 4篇陈文昱
  • 4篇傅新
  • 2篇马颖聪
  • 2篇徐宁

年份

  • 2篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2013
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
用于浸没式光刻机的多级负压回收密封和气密封装置
本发明公开了用于浸没式光刻机的多级负压回收密封和气密封装置。在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片之间装有由浸没单元上端盖和浸没单元下端盖组成的多级负压回收密封和气密封装置。本发明利用负压回收液体的同时，还能对液体实现密封。...
傅新陈文昱童章进徐宁
文献传递
负压回收结构在非接触式流场密封中的应用
童章进
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一种用于浸没式光刻机的气密封和两级多孔气液回收装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻机的气密封和两级多孔气液回收装置。包括在投影物镜组和硅片之间安装的气密封及气液隔离装置，其包括浸没单元下端盖和基体；浸没单元下端盖上开有中心锥孔、镜头注液口、镜头回收口、气液分离腔、第二级回...
傅新徐文苹陈文昱马颖聪童章进
文献传递
用于浸没式光刻机的多级负压回收密封和气密封装置
本发明公开了用于浸没式光刻机的多级负压回收密封和气密封装置。在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片之间装有由浸没单元上端盖和浸没单元下端盖组成的多级负压回收密封和气密封装置。本发明利用负压回收液体的同时，还能对液体实现密封。...
傅新陈文昱童章进徐宁
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一种用于浸没式光刻机的气密封和两级多孔气液回收装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻机的气密封和两级多孔气液回收装置。包括在投影物镜组和硅片之间安装的气密封及气液隔离装置，其包括浸没单元下端盖和基体；浸没单元下端盖上开有中心锥孔、镜头注液口、镜头回收口、气液分离腔、第二级回...
傅新陈文昱徐文苹马颖聪童章进
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