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张露

作品数：32 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：中国科学院战略性先导科技专项北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 17篇专利
  • 13篇会议论文
  • 1篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 8篇电子电信
  • 7篇自动化与计算...
  • 3篇矿业工程
  • 3篇机械工程
  • 3篇理学
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇交通运输工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 14篇约瑟夫森结
  • 10篇底电极
  • 10篇NBN
  • 9篇超导
  • 5篇势垒
  • 4篇电阻
  • 4篇势垒层
  • 4篇并联电阻
  • 4篇超导材料
  • 3篇单光子
  • 3篇单光子探测
  • 3篇单光子探测器
  • 3篇氮化
  • 3篇堆栈
  • 3篇堆栈结构
  • 3篇栈结构
  • 3篇探测器
  • 3篇离子氮化
  • 3篇纳米
  • 3篇纳米线

机构

  • 32篇中国科学院
  • 1篇中国科学院大...
  • 1篇松山湖材料实...

作者

  • 32篇张露
  • 27篇王镇
  • 18篇尤立星
  • 12篇张伟君
  • 12篇陈垒
  • 9篇李浩
  • 8篇刘晓宇
  • 4篇杨晓燕
  • 3篇陈思井
  • 3篇谢晓明
  • 3篇郭琦
  • 3篇巫君杰
  • 2篇孔祥燕
  • 2篇应利良
  • 2篇熊伟
  • 2篇任洁
  • 1篇王会武
  • 1篇王永良
  • 1篇沙鹏
  • 1篇袁洁

传媒

  • 1篇物理学报
  • 1篇第十一届全国...

年份

  • 1篇2023
  • 7篇2022
  • 1篇2021
  • 4篇2020
  • 2篇2019
  • 2篇2018
  • 3篇2016
  • 3篇2015
  • 6篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2011
共 32 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
NbN薄膜厚度对超导纳米线单光子探测器性能的影响
超导纳米线单光子探测器件(SNSPD)是用在超导单光子探测系统中的核心器件.我们成功制各了基于NbN超导超薄薄膜的SNSPD器件.器件核心结构为70 nm宽的纳米曲折线结构，有效面积为15 μm× 15 μm....
杨晓燕张伟君张露刘晓宇尤立星
一种超导电路结构及其制备方法
本发明提供一种超导电路结构及其制备方法，包括：1）提供衬底，在衬底表面对应于后续要形成约瑟夫森结的位置形成应力图案结构，应力图案结构的尺寸大于约瑟夫森结的尺寸；2）在衬底表面依次形成第一超导材料层、第一绝缘材料层及第二超...
应利良熊伟张露孔祥燕任洁王镇
文献传递
MgO单晶上NbN薄膜的制备与性能研究
张露尤立星彭炜
高消光比超导纳米线单光子探测器
偏振是光学研究的一个重要参数.大多数光探测器都是强度探测器,对偏振信息不敏感.超导纳米线单光子探测器(Superconducting nanowire single-photon detector,SNSPD)由于其类似...
郭琦李浩尤立星张伟君张露王镇
关键词：NBN消光比
一种基于VN的SNS约瑟夫森结及其制备方法
本发明提供一种基于VN的SNS约瑟夫森结及其制备方法，该基于VN的SNS约瑟夫森结的制备方法包括以下步骤，提供一衬底，采用直流反应磁控溅射于衬底上形成包括NbN底层膜、VN势垒层及NbN顶层膜的功能材料层，刻蚀功能材料层...
张露陈垒王镇
堆栈结构SNS约瑟夫森结、电压基准及制备方法
本发明提供一种堆栈结构SNS约瑟夫森结的制备方法，堆栈结构SNS约瑟夫森结的制备包括提供衬底，制备NbN底层膜、超导金属复合叠层结构层以及NbN顶层膜，定义底电极和结区，制备隔离层和配线层。本发明通过引入堆栈结构SNS约...
张露闫恺心曾俊文陈垒王镇
一种超导磁通量子存储单元结构及其制备方法
本发明提供一种超导磁通量子存储单元结构及其制备方法，超导磁通量子存储单元结构中的约瑟夫森结采用垂直结构的超导体(S)‑正常金属(N)‑超导体(S)设计，且SNS结的尺寸为纳米量级，一方面，能够有效缩小存储单元结构的面积，...
彭炜胡宇心张露陈垒王镇
可降低恢复时间的超导纳米线单光子探测器件及制作方法
本发明提供一种可降低恢复时间的超导纳米线单光子探测器件及制作方法，所述可降低恢复时间的超导纳米线单光子探测器件包括：超导纳米线；石墨烯结构，所述石墨烯结构结合于所述超导纳米线的底部。本发明通过在超导纳米线单光子探测器件中...
张露尤立星王镇
文献传递
薄膜滤波器对超导纳米线单光子探测器暗计数的抑制
暗计数是影响超导纳米线单光子探测器(SNSPD)应用的重要参数.我们设计了一种集成在SNSPD 衬底背面的薄膜带通滤波器,用来抑制由光纤引入的杂散光和黑体辐射带来的背景暗计数.滤波器由16 层SiO2/Si 双层结构构成...
杨晓燕李浩张伟君尤立星张露刘晓宇王镇
基于TaN的约瑟夫森结及其制备方法
本发明提供一种基于TaN的约瑟夫森结及其制备方法，制备方法包括：提供衬底，形成NbN底层膜、金属TaN势垒层以及NbN顶层膜，刻蚀定义底电极和结区，形成隔离层和配线层。本发明通过离子氮化工艺形成金属TaN势垒层，得到SN...
张露闫恺心陈垒王镇
文献传递
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