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张瀚铭
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6
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供职机构:
中国电子科技集团公司第十八研究所
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合作作者
乔在祥
中国电子科技集团公司第十八研究...
赵彦民
中国电子科技集团公司第十八研究...
赵岳
中国电子科技集团公司第十八研究...
王赫
中国电子科技集团公司第十八研究...
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中国电子科技集团公司第十八研究...
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一种铜铟镓硒太阳电池窗口层的制备方法
本发明公开了一种铜铟镓硒太阳电池窗口层的制备方法,包括:步骤一、在衬底上依次沉积底电极Mo、吸收层CIGS、缓冲层CdS;然后放入真空室内;步骤二、对真空室进行抽真空,通入氩气和氧气的混合气体;步骤三、当真空室内真空度达...
张瀚铭
乔在祥
赵彦民
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刚性衬底制备柔性太阳电池的方法
本发明涉及一种刚性衬底制备柔性太阳电池的方法,其特点是:包括以下制备步骤:步骤1.制作柔性衬底-刚性衬底构成的刚性复合衬底;步骤2.在刚性复合衬底的柔性衬底上制作柔性太阳电池;步骤3.将柔性衬底-刚性衬底分离,完成刚性衬...
乔在祥
张嘉伟
闫礼
纪伟伟
方亮
潘振
张瀚铭
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一种柔性衬底卷对卷镀膜退火装置
本实用新型涉及一种柔性衬底卷对卷镀膜退火装置,包括用挡板真空腔室分割的送卷室、第一溅射室、第二溅射室和收卷室;送卷室内有放卷辊、张力辊和导向辊,收卷室内有收卷辊、张力辊和导向辊,其特点是:所述第二溅射室和收卷室之间用挡板...
张瀚铭
乔在祥
赵彦民
王赫
申绪男
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一种柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳电池窗口层的制备方法
本发明涉及一种柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳电池窗口层的制备方法。本发明属于太阳电池技术领域。一种柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳电池窗口层的制备方法,工艺步骤:在真空室内放入依次镀有底电极Mo/吸收层CIGS/缓冲层CdS的衬底后,...
张瀚铭
乔在祥
赵彦民
赵岳
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一种铜铟镓硒薄膜太阳电池缓冲层的制备方法
本发明提供了一种铜铟镓硒薄膜太阳电池缓冲层的制备方法,采用如下技术方案:以二乙基锌、H<Sub>2</Sub>S、H<Sub>2</Sub>O分别作为Zn、S、O的前躯体源,采用原子层沉积方法在加热的衬底上交替沉积ZnO...
张瀚铭
乔在祥
赵岳
徐睿
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柔性衬底卷对卷制膜退火一体化的制备方法
本发明涉及一种柔性衬底卷对卷制膜退火一体化的制备方法,包括从卷对卷装置一端卷上柔性衬底的下面连续镀膜直至柔性衬底卷到卷对卷装置另一端的卷上,其特点是:所述柔性衬底连续镀膜后,柔性衬底卷到卷对卷装置另一端前连续进行退火处理...
张瀚铭
乔在祥
赵彦民
王赫
申绪男
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