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张学敏

作品数：17 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
相关领域：理学电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 15篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 5篇石墨
  • 5篇石墨烯
  • 4篇掩模
  • 4篇湿法腐蚀
  • 4篇图案
  • 4篇微反射镜
  • 4篇晶向
  • 4篇晶圆
  • 4篇反射镜
  • 3篇单片
  • 3篇电镀
  • 3篇探针
  • 3篇刻蚀
  • 3篇夹具
  • 3篇催化
  • 2篇电镀工艺
  • 2篇真空度
  • 2篇碳化硅
  • 2篇退火
  • 2篇退火炉

机构

  • 17篇中国科学院

作者

  • 17篇张学敏
  • 10篇张宝顺
  • 6篇俞挺
  • 6篇付思齐
  • 5篇孙天玉
  • 4篇王逸群
  • 3篇邢政
  • 2篇曾春红
  • 2篇于国浩
  • 2篇张泽洪
  • 2篇时文华
  • 1篇耿秀梅
  • 1篇曾中明
  • 1篇朱超
  • 1篇高嵩
  • 1篇王荣新
  • 1篇龚佑品
  • 1篇张晓东
  • 1篇李海军
  • 1篇刘立伟

传媒

  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇第十三届全国...

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 1篇2022
  • 3篇2021
  • 4篇2019
  • 1篇2018
  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2012
共 17 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
微反射镜的制造方法
本发明提供一种微反射镜的制造方法，制造方法包括步骤：提供一(100)晶面的硅衬底；在硅衬底的顶面和底面分别生长一介质层；对硅衬底顶面的介质层进行刻蚀，以在硅衬底的顶面形成第一掩模图案，第一掩模图案包括多个第一掩模，每个第...
张学敏孙天玉付思齐俞挺王逸群张宝顺
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微反射镜的制造方法
本发明提供一种微反射镜的制造方法，所述制造方法包括步骤：提供一(100)晶面的硅衬底；在所述硅衬底的顶面和底面分别生长一介质层；对所述硅衬底顶面的介质层进行刻蚀，以在所述硅衬底的顶面形成第一掩模图案，所述第一掩模图案包括...
张学敏孙天玉付思齐王逸群邢政张宝顺
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一种外延碳化硅-石墨烯复合薄膜的制备方法
本发明涉及半导体技术领域，尤其是一种外延生长碳化硅-石墨烯复合薄膜的制备方法，其包括如下步骤：将预处理后的基底置于化学气相沉积腔体中，控制所述气相沉积腔体绝对真空度高于10<Sup>-4</Sup>帕，1500～1600...
张学敏张泽洪张宝顺
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多尺寸兼容单片晶圆电镀夹具
本实用新型公开了一种多尺寸兼容单片晶圆电镀夹具，包括：基体，所述基体上设有分别用以容置不同尺寸晶圆的复数个不同尺寸的凹槽，且该复数个凹槽同心设置；以及，用以将晶圆压紧固定于所述凹槽内且与晶圆电性接触的探针机构。进一步的，...
俞挺张学敏丁海舰
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低温ICP-CVD氮化硅薄膜沉积技术及其应用
随着集成电路和半导体微纳加工技术的不断发展，半导体器件钝化问题已经成为半导体物理的一个重要的研究领域，因而制备优质的钝化薄膜成为研究焦点。氮化硅薄膜具有高介电常数、高化学稳定性、致密性好、抗氧化、抗腐蚀、抗杂质扩散和水汽...
张晓东张学敏时文华李海军王荣新张宝顺
ICPCVD低温生长非晶硅的工艺及光学特性研究
2023年
文章利用ICPCVD在100℃及以下玻璃和蓝宝石片衬底上生长非晶硅薄膜,并通过调节Ar和SiH4气体流量比例、射频功率及衬底温度等参数,实现低温下高质量非晶硅薄膜的生长。随后用拉曼光谱表征分析研究了衬底温度变化对非晶硅薄膜沉积质量的影响,并计算出衬底温度为100℃时,非晶硅薄膜的结晶分数和微晶尺寸分别为64.4%和4.7 nm。此外还研究了非晶硅薄膜折射率和透过率等光学特性,并计算出薄膜的光学带隙最低为1.68。最后制备了两种a-Si/SiO_(2)/a-Si布拉格反射结构,厚度分别为36/100/41 nm和62/132/60 nm。两种结构在可见光和红外波段分别实现了90.4%和88.9%的最高反射率。
王进张伟冷家君韩鹤彬沈文超陆铖灵张学敏
关键词：非晶硅薄膜射频功率折射率
多孔径相干合束接收器及其制作方法
本发明公开了一种多孔径相干合束接收器的制作方法，制作方法包括：在衬底上形成包括多个第一光波导的光波导阵列和包括第二光波导和合束部的光波导合束器，其中，合束部具有多个光波导分支部，第二光波导和第一光波导对应连接到多个光波导...
孙天玉邢政张学敏张宝顺
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多尺寸兼容单片晶圆电镀夹具
本发明公开了一种多尺寸兼容晶圆单片电镀夹具，包括：基体，所述基体上设有分别用以容置不同尺寸晶圆的复数个不同尺寸的凹槽，且该复数个凹槽同心设置；以及，用以将晶圆压紧固定于所述凹槽内且与晶圆电性接触的探针机构。进一步的，所述...
俞挺张学敏丁海舰
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压电微机械超声换能器及压电微机械超声换能器阵列
本发明公开了一种压电微机械超声换能器及压电微机械超声换能器阵列。压电微机械超声换能器包括：衬底结构、多层薄膜谐振结构和声屏障结构，衬底结构内具有谐振腔，多层薄膜谐振结构和声屏障结构间隔设置在衬底结构上，多层薄膜谐振结构沿...
时文华石豪林文魁张学敏曾中明李玉雄周佳林栋
一种在金属催化剂表面制备薄层石墨烯的方法
本发明公开了一种在金属催化剂表面制备薄层石墨烯的方法，该方法包含以下步骤：第一步，首先将金属催化剂基体放入化学气相沉积（CVD）系统内，在H<Sub>2</Sub>和Ar气混合气氛中进行加热和退火；第二步，利用不同碳源进...
刘立伟龚佑品张学敏高嵩朱超龙明生耿秀梅
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