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吴纯清

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：上海大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇溅射
  • 1篇导体
  • 1篇扇形段
  • 1篇设计方法
  • 1篇特殊设计
  • 1篇退火
  • 1篇退火时间
  • 1篇热电
  • 1篇化合物
  • 1篇化学计量
  • 1篇溅射法
  • 1篇溅射法制备
  • 1篇工作气压
  • 1篇赫斯
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 2篇上海大学

作者

  • 2篇史伟民
  • 2篇王国华
  • 2篇秦娟
  • 2篇吴纯清
  • 1篇张敏
  • 1篇单荣

年份

  • 2篇2013
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种磁控溅射用复合靶材的设计方法
本发明公开了一种磁控溅射用复合靶材的设计方法，涉及磁控溅射技术及无机化合物功能薄膜制备技术领域。其是由切割成5°、10°、30°、60°的扇形段的各组元单质薄板靶材，按照一定角度比例均匀交替拼接构成的复合靶材，其组元成分...
秦娟单荣孙纽一王国华吴纯清史伟民
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磁控溅射法制备TiCoSb半导体薄膜
本发明公开了磁控溅射法制备TiCoSb半导体薄膜，涉及无机化合物功能薄膜制备技术领域及磁控溅射技术领域。其特征在于是通过一种特殊设计的复合靶材，利用普通磁控溅射及后退火处理得到成分分布均匀的、符合化学计量比的多元素化合物...
秦娟孙纽一王国华张敏吴纯清史伟民
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