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杨伟生
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
昆明物理研究所
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发文基金:
北京市自然科学基金
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相关领域:
医药卫生
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合作作者
薛唯
北京理工大学光电学院
薛建设
京东方科技集团股份有限公司
喻志农
北京理工大学光电学院
柳逢春
北京理工大学光电学院
张学辉
京东方科技集团股份有限公司
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真空科学与技...
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2015
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钼缓冲层对钼/铜叠层结构电极特性的影响
被引量:1
2015年
采用直流磁控溅射方法制备了钼/铜叠层结构电极,其电阻率达到2.28μΩ·cm,显著低于铝钕合金的电阻率;金属钼作为缓冲层,提高了铜电极在玻璃上的附着力;钼作为阻挡层有效地阻挡了铜向非晶硅中的扩散,避免了铜对于薄膜晶体管有源层的影响。采用这种结构的电极作为大尺寸高分辨平板显示器的扫描线和数据线有望缓解信号延迟的问题。
李旭远
薛唯
喻志农
薛建设
张学辉
柳逢春
杨伟生
关键词:
显示技术
电阻率
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