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黄钦文
作品数:
51
被引量:40
H指数:4
供职机构:
信息产业部电子第五研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
广东省自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
机械工程
一般工业技术
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合作作者
王蕴辉
信息产业部电子第五研究所
陈大鹏
中国科学院微电子研究所纳米加工...
叶甜春
中国科学院微电子研究所纳米加工...
欧毅
中国科学院微电子研究所纳米加工...
朱军华
信息产业部电子第五研究所
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黄钦文
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王蕴辉
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欧毅
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一种三角形结构的微悬臂梁传感器及其制作方法
本发明公开了一种三角形结构的微悬臂梁传感器,该传感器包括:用于支撑悬臂梁的衬底框架;至少一个固定于衬底框架上的悬臂梁结构;固定在构成所述悬臂梁结构的两个悬臂梁交叉成锐角端的反光板。本发明同时公开了一种三角形结构微悬臂梁传...
黄钦文
陈大鹏
欧毅
叶甜春
张春川
李凯
文献传递
加速度计性能参数的检测方法和系统
本发明公开了一种加速度计性能参数的检测方法和系统,所述方法包括:在线加速度模拟转台上的随动台定位在零位时,使线加速度模拟转台的输出加速度为预设的多个加速度值,获取固定在所述随动台上的加速度计的输出值;在线加速度模拟转台上...
黄钦文
方文啸
何春华
王蕴辉
文献传递
静电驱动阶梯型微悬臂梁吸合电压的预测方法和系统
本发明提供一种静电驱动阶梯型微悬臂梁吸合电压的预测方法和系统,其方法包括步骤:建立阶梯型微悬臂梁与衬底固定电极之间的间隙模型;建立所述阶梯型微悬臂梁在静电力作用下发生的变形的试函数模型;按照阶梯型微悬臂梁的横截面大小对其...
朱军华
何小琦
苏伟
宋芳芳
黄钦文
恩云飞
刘人怀
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静电换能器可靠性分析方法和系统
本发明涉及一种静电换能器可靠性分析方法和系统,对静电换能器的输入电极和偏置电极施加偏置电压;根据预设的冲击量级对静电换能器施加冲击载荷,进行机械冲击。在机械冲击过程中监测静电换能器的输入电极与输出电极之间的电阻值;调节所...
黄钦文
何春华
肖庆中
朱军华
王蕴辉
文献传递
微机械陀螺闭环检测设计方法和装置
本发明公开了一种微机械陀螺闭环检测设计方法和装置,首先根据可控因素水平表挑选各因素各水平情况下的方案进行试验,得到各内表试验方案;然后根据不可控因素水平表对每一个内表试验方案进行外表试验,得到相应的相位裕量、幅度裕量、开...
何春华
黄钦文
何小琦
王蕴辉
微机械陀螺仪电耦合抑制电路和方法
本发明公开了一种微机械陀螺仪电耦合抑制电路和方法,所述电路包括反相比例放大器和补偿电容,反相比例放大器的输入端连接所述微机械陀螺仪的驱动交流信号端,反相比例放大器的输出端连接补偿电容,补偿电容的另一端连接微机械陀螺仪的电...
何春华
黄钦文
何小琦
王蕴辉
文献传递
静电驱动阶梯型微悬臂梁结构评价方法与系统
本发明提供一种静电驱动阶梯型微悬臂梁结构评价方法与系统,基于阶梯型微悬臂梁的结构参数,计算阶梯型微悬臂梁无量纲宽度比,再利用阶梯型微悬臂梁无量纲参数关系式和静电力作用下阶梯型微悬臂梁变形的试函数,计算阶梯型微悬臂梁无量纲...
朱军华
苏伟
刘人怀
宋芳芳
黄钦文
恩云飞
文献传递
电容式结构材料机械性能退化检测方法
本发明公开了一种电容式结构材料机械性能退化检测方法,其特征在于,包括以下步骤,将电容式结构材料放置恒温环境中,并对环境温度进行测量记录;保持环境温度、气压等其它条件不变,对固定电极与移动电极之间的下拉电压进行确定,并对下...
黄钦文
文献传递
提高加速度计校准精度的方法与系统
本发明公开了一种提高加速度计校准精度的方法与系统,针对特定的稳速台输出加速度,设定随动台处于0度位置和180度位置,并分别测量固定在随动台上的加速度计的输出值。设定多个输出加速度,可以获得多组加速度计输出值,可实现对校准...
黄钦文
王蕴辉
李向光
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一种气敏传感器标定和可靠性测试系统
本发明涉及气敏传感器测试技术领域,公开了一种气敏传感器标定和可靠性测试系统,该系统包括进气单元、气体流量监控及组分控制单元、气体混合腔、真空测试腔和传感器电参量测量装置;所述进气单元中的气体在气体流量监控及组分控制单元的...
黄钦文
陈大鹏
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欧毅
叶甜春
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