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王帅
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
西安交通大学
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相关领域:
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合作作者
刘浩
西安交通大学
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黄亚平
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光致电化学法提高垂直结构发光二极管出光效率的研究
被引量:3
2015年
研究了在垂直结构发光二极管(VLED)器件中,光致电化学法(PEC)刻蚀N极性n-Ga N的速率受不同刻蚀条件(刻蚀浓度、刻蚀时间和光照强度)的影响.并选择N极性n-Ga N表面含有较理想六角金字塔结构(侧壁角为31°)的样品制成器件,研究PEC刻蚀对VLED的欧姆接触和光电性能的影响.结果表明,与未粗化样品相比,PEC刻蚀后的样品接触电阻率明显降低,形成更好的欧姆接触;其电学特性有较好的改善,光输出功率有明显提高,在20 m A电流下光输出功率增强了86.1%.对不同金字塔侧壁角度的光提取效率用时域有限差分法(FDTD)模拟,结果显示光提取效率在侧壁角度为20°—40°有显著提高,在23.6°(Ga N-空气界面的全反射角)时达到最大.
弓志娜
云峰
丁文
张烨
郭茂峰
刘硕
黄亚平
刘浩
王帅
冯仑刚
王江腾
关键词:
刻蚀
N-GAN
出光效率
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