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王凯悦
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东南大学
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廖小平
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易真翔
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氮化镓基低漏电流固支梁场效应晶体管倒相器及制备方法
本发明是一种氮化镓基低漏电流固支梁场效应晶体管倒相器及制备方法,该GaN基低漏电流固支梁MESFET倒相器由固支梁N型MESFET和固支梁P型MESFET构成。该倒相器的MESFET的制作在半绝缘GaN衬底上,其栅极上方...
廖小平
王凯悦
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物联网射频收发组件开孔混合梁振动电磁自供电微传感器
本发明的物联网射频收发组件开孔混合梁振动电磁自供电微传感器,由一个固支梁、8个悬臂梁以及外围大电容和稳压电路组成。固支梁两侧的自由边上制作了八个尺寸相同悬臂梁。天线结构和压电材料层都设计在固支梁和悬臂梁上。本发明既实现了...
廖小平
王凯悦
氮化镓基低漏电流固支梁场效应晶体管倒相器及制备方法
本发明是一种氮化镓基低漏电流固支梁场效应晶体管倒相器及制备方法,该GaN基低漏电流固支梁MESFET倒相器由固支梁N型MESFET和固支梁P型MESFET构成。该倒相器的MESFET的制作在半绝缘GaN衬底上,其栅极上方...
廖小平
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一种平板式全固态Ag/AgCl参比电极及制备方法
本发明提供一种平板式全固态Ag/AgCl参比电极及制备方法,包括Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>陶瓷基底、敏感部分、绝缘层和电极引线;所述敏感部分包括Ag/AgCl层、电解质层及液界层;所述Ag/A...
王俊卓
张西良
王凯悦
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陈成
物联网射频收发组件开孔混合梁振动电磁自供电微传感器
本发明的物联网射频收发组件开孔混合梁振动电磁自供电微传感器,由一个固支梁、8个悬臂梁以及外围大电容和稳压电路组成。固支梁两侧的自由边上制作了八个尺寸相同悬臂梁。天线结构和压电材料层都设计在固支梁和悬臂梁上。本发明既实现了...
廖小平
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氮化镓基低漏电流悬臂梁场效应晶体管传输门及制备方法
本发明的是一种GaN基低漏电流悬臂梁MESFET传输门及制备方法,该传输门由悬臂梁N型MESFET和悬臂梁P型MESFET构成。MESFET的制作在半绝缘GaN衬底上,其栅极上方设计了悬臂梁结构。悬臂梁下方设计了电极板。...
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氮化镓基低漏电流悬臂梁场效应晶体管倒相器及制备方法
本发明是一种氮化镓基低漏电流悬臂梁场效应晶体管倒相器及制备方法,该倒相器由悬臂梁N型MESFET和悬臂梁P型MESFET构成。该倒相器的MESFET的制作在半绝缘GaN衬底上,其栅极上方设计了悬臂梁结构。悬臂梁下方设计了...
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硅基低漏电流固支梁栅MOS管倒相器及制备方法
本发明是一种硅基低漏电流固支梁栅MOS管倒相器及制备方法,该倒相器由固支梁栅NMOS管和固支梁栅PMOS管构成。该倒相器的MOS管的制作在Si衬底上,其栅极是悬浮在栅氧化层上方的,形成固支梁结构。固支梁栅的下方设计有电极...
廖小平
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物联网射频收发组件开孔悬臂梁振动电磁自供电微传感器
本发明的射频收发机中的开孔悬臂梁振动电磁自供电微传感器,由一个主悬臂梁、8个副悬臂梁以及外围大电容和稳压电路组成。主悬臂梁两侧的自由边上制作了八个尺寸相同副悬臂梁。8个副悬臂梁上开有不同半径、间距以及数量的圆孔。本发明既...
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物联网射频收发组件中开孔悬臂梁振动能自供电微传感器
本发明的射频收发机中的开孔悬臂梁振动能自供电微传感器,由一个主悬臂梁、8个副悬臂梁以及外围大电容和稳压电路组成。副悬臂梁制作在主悬臂梁两侧的自由边上。8个副悬臂梁上开有不同半径、间距以及数量的圆孔。本发明不仅具有传统的梁...
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