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罗辑

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：北京航空航天大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 2篇真空室
  • 2篇质量流量控制...
  • 2篇流量控制器
  • 2篇控制器
  • 2篇放电
  • 2篇放电管
  • 1篇电弧
  • 1篇电压
  • 1篇电压值
  • 1篇占空比
  • 1篇真空
  • 1篇真空电弧
  • 1篇气体
  • 1篇外加电源
  • 1篇离子密度
  • 1篇离子能量
  • 1篇脉冲电压
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇拉曼
  • 1篇拉曼光谱

机构

  • 3篇北京航空航天...

作者

  • 3篇李刘合
  • 3篇许亿
  • 3篇罗辑
  • 1篇刘红涛

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 2篇2016
  • 1篇2014
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
带状真空电弧磁过滤器等离子体分布特性及制备类金刚石膜研究被引量：1
2016年
采用大尺寸矩形石墨靶作为真空阴极电弧源,研制了带状真空电弧磁过滤器.使用法拉第杯和朗缪尔探针对90?弯曲磁过滤器中的带状等离子体出口所在平面的15个区域的离子能量和密度进行了测试;用该带状真空电弧磁过滤器制备了类金刚石膜(diamond-like carbon,DLC);对相应位置上的类金刚石膜进行了Raman分析和膜厚测量.结果表明:磁过滤器出口所在平面的15个划分区域中离子能量分布接近麦克斯韦分布,离子能量分布与类金刚石膜的结构具有明显的对应特征,离子密度分布与DLC膜膜厚分布相互之间具有相关性.
李刘合刘红涛罗辑许亿
关键词：离子能量离子密度类金刚石膜拉曼光谱
一种电子增强等离子体放电管内壁涂层的方法
一种电子增强等离子体放电管内壁涂层的方法，它有六大步骤：一、待处理管内壁涂层前清洁处理：二、组装一种电子增强等离子体放电管内壁涂层装置；三、完成对真空室的抽真空，通过惰性气体馈送管道通入惰性气体，再通过待处理管进入绝缘罩...
李刘合许亿罗辑
文献传递
一种电子增强等离子体放电管内壁涂层的方法
一种电子增强等离子体放电管内壁涂层的方法，它有六大步骤：一、待处理管内壁涂层前清洁处理：二、组装一种电子增强等离子体放电管内壁涂层装置；三、完成对真空室的抽真空，通过惰性气体馈送管道通入惰性气体，再通过待处理管进入绝缘罩...
李刘合许亿罗辑
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