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白丹

作品数:15 被引量:0H指数:0
供职机构:南京邮电大学更多>>
相关领域:电子电信金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 14篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 9篇硅衬底
  • 9篇衬底
  • 7篇刻蚀
  • 5篇刻蚀技术
  • 4篇单片
  • 4篇单片集成
  • 4篇氮化
  • 4篇氮化物
  • 4篇化物
  • 4篇光效
  • 4篇光效率
  • 4篇光子
  • 4篇光子器件
  • 4篇出光
  • 4篇出光效率
  • 3篇氮化镓
  • 3篇减薄
  • 3篇光电
  • 3篇硅刻蚀
  • 3篇波导

机构

  • 15篇南京邮电大学

作者

  • 15篇白丹
  • 14篇王永进
  • 10篇高绪敏
  • 8篇陈佳佳
  • 8篇李欣
  • 8篇施政
  • 6篇许银
  • 4篇朱洪波
  • 2篇蔡玮
  • 2篇袁威
  • 2篇朱刚毅
  • 2篇袁炜

年份

  • 2篇2018
  • 3篇2017
  • 6篇2016
  • 4篇2014
15 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
悬空氮化物薄膜LED器件及制备方法
本发明公开了一种悬空氮化物薄膜LED器件及其制备方法,实现载体为硅衬底氮化物晶片,包括顶层氮化物器件层和硅衬底层;该方法能够实现高折射率硅衬底层和氮化物器件层的剥离,消除硅衬底层对激发光的吸收,实现悬空氮化物薄膜LED器...
王永进白丹施政李欣高绪敏陈佳佳朱洪波
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悬空LED光波导光电探测器单片集成器件及其制备方法
本发明提供一种悬空LED光波导光电探测器单片集成器件及其制备方法,该器件利用各向异性硅刻蚀技术,剥离去除器件结构下硅衬底层,得到悬空氮化物薄膜LED光波导探测器单片集成器件,进一步采用氮化物背后减薄刻蚀技术,获得超薄的硅...
王永进朱桂遐白丹袁佳磊许银
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氮化物非对称型回音壁模式光学微腔器件及制备方法
本发明公开了一种氮化物非对称型回音壁模式光学微腔器件及制备方法,光学微腔器件包括硅衬底层、设置在硅衬底层上的氮化镓层,氮化镓层中设置有非对称型回音壁模式光学微腔和水平的支撑臂,非对称型回音壁模式光学微腔下方设置有贯穿硅衬...
王永进白丹朱刚毅李欣施政高绪敏陈佳佳
氮化物非对称型回音壁模式光学微腔器件及制备方法
本发明公开了一种氮化物非对称型回音壁模式光学微腔器件及制备方法,光学微腔器件包括硅衬底层、设置在硅衬底层上的氮化镓层,氮化镓层中设置有非对称型回音壁模式光学微腔和水平的支撑臂,非对称型回音壁模式光学微腔下方设置有贯穿硅衬...
王永进白丹朱刚毅李欣施政高绪敏陈佳佳
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一种非周期高对比度光栅及其制备方法
本发明公开了一种非周期高对比度光栅及其制备方法,光栅结构包括从上到下的氮化物器件层和硅衬底层,顶氮化物器件层上具有光栅器件结构,光栅器件满足相位匹配方程: <Image file="932546DEST_PATH_IMA...
王永进陈佳佳施政李欣高绪敏白丹
硅基氮化物材料的氧化铪悬空谐振光子器件及其制备方法
本发明公开了一种硅基氮化物材料的氧化铪悬空谐振光子器件及其制备方法,实现载体为硅衬底III族氮化物晶片外延生长一层纳米级厚度的氧化铪薄膜,包括硅衬底层,设置在硅衬底层上的氮化物层,以及外延生长在氮化物层上的氧化铪薄膜层。...
王永进高绪敏施政李欣陈佳佳白丹
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硅衬底悬空LED光波导集成光子器件及其制备方法
本发明提供一种硅衬底悬空LED光波导集成光子器件及其制备方法,该器件利用各向异性硅刻蚀技术,剥离去除器件结构下硅衬底层和外延缓冲层,得到悬空氮化物薄膜LED光波导集成光子器件,进一步采用氮化物背后减薄刻蚀技术,获得超薄的...
王永进朱桂遐白丹许银朱洪波
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基于悬空p‑n结量子阱的光致晶体管及其制备方法
本发明提供一种基于悬空p‑n结量子阱的光致晶体管及其制备方法,利用各向异性硅刻蚀技术,剥离去除器件结构下硅衬底层,得到基于悬空氮化物薄膜p‑n结量子阱的光致晶体管,进一步采用氮化物背后减薄刻蚀技术,获得超薄的悬空器件。本...
王永进袁威高绪敏蔡玮白丹许银朱桂遐袁炜
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悬空氮化物薄膜LED器件及制备方法
本发明公开了一种悬空氮化物薄膜LED器件及其制备方法,实现载体为硅衬底氮化物晶片,包括顶层氮化物器件层和硅衬底层;该方法能够实现高折射率硅衬底层和氮化物器件层的剥离,消除硅衬底层对激发光的吸收,实现悬空氮化物薄膜LED器...
王永进白丹施政李欣高绪敏陈佳佳朱洪波
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硅基氮化物材料的氧化铪悬空谐振光子器件及其制备方法
本发明公开了一种硅基氮化物材料的氧化铪悬空谐振光子器件及其制备方法,实现载体为硅衬底III族氮化物晶片外延生长一层纳米级厚度的氧化铪薄膜,包括硅衬底层,设置在硅衬底层上的氮化物层,以及外延生长在氮化物层上的氧化铪薄膜层。...
王永进高绪敏施政李欣陈佳佳白丹
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共2页<12>
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