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白丹
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15
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供职机构:
南京邮电大学
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
王永进
南京邮电大学
高绪敏
南京邮电大学
施政
南京邮电大学
李欣
南京邮电大学
陈佳佳
南京邮电大学
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作者
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白丹
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王永进
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高绪敏
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陈佳佳
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李欣
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施政
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袁炜
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2018
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6篇
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2014
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悬空氮化物薄膜LED器件及制备方法
本发明公开了一种悬空氮化物薄膜LED器件及其制备方法,实现载体为硅衬底氮化物晶片,包括顶层氮化物器件层和硅衬底层;该方法能够实现高折射率硅衬底层和氮化物器件层的剥离,消除硅衬底层对激发光的吸收,实现悬空氮化物薄膜LED器...
王永进
白丹
施政
李欣
高绪敏
陈佳佳
朱洪波
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悬空LED光波导光电探测器单片集成器件及其制备方法
本发明提供一种悬空LED光波导光电探测器单片集成器件及其制备方法,该器件利用各向异性硅刻蚀技术,剥离去除器件结构下硅衬底层,得到悬空氮化物薄膜LED光波导探测器单片集成器件,进一步采用氮化物背后减薄刻蚀技术,获得超薄的硅...
王永进
朱桂遐
白丹
袁佳磊
许银
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氮化物非对称型回音壁模式光学微腔器件及制备方法
本发明公开了一种氮化物非对称型回音壁模式光学微腔器件及制备方法,光学微腔器件包括硅衬底层、设置在硅衬底层上的氮化镓层,氮化镓层中设置有非对称型回音壁模式光学微腔和水平的支撑臂,非对称型回音壁模式光学微腔下方设置有贯穿硅衬...
王永进
白丹
朱刚毅
李欣
施政
高绪敏
陈佳佳
氮化物非对称型回音壁模式光学微腔器件及制备方法
本发明公开了一种氮化物非对称型回音壁模式光学微腔器件及制备方法,光学微腔器件包括硅衬底层、设置在硅衬底层上的氮化镓层,氮化镓层中设置有非对称型回音壁模式光学微腔和水平的支撑臂,非对称型回音壁模式光学微腔下方设置有贯穿硅衬...
王永进
白丹
朱刚毅
李欣
施政
高绪敏
陈佳佳
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一种非周期高对比度光栅及其制备方法
本发明公开了一种非周期高对比度光栅及其制备方法,光栅结构包括从上到下的氮化物器件层和硅衬底层,顶氮化物器件层上具有光栅器件结构,光栅器件满足相位匹配方程: <Image file="932546DEST_PATH_IMA...
王永进
陈佳佳
施政
李欣
高绪敏
白丹
硅基氮化物材料的氧化铪悬空谐振光子器件及其制备方法
本发明公开了一种硅基氮化物材料的氧化铪悬空谐振光子器件及其制备方法,实现载体为硅衬底III族氮化物晶片外延生长一层纳米级厚度的氧化铪薄膜,包括硅衬底层,设置在硅衬底层上的氮化物层,以及外延生长在氮化物层上的氧化铪薄膜层。...
王永进
高绪敏
施政
李欣
陈佳佳
白丹
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硅衬底悬空LED光波导集成光子器件及其制备方法
本发明提供一种硅衬底悬空LED光波导集成光子器件及其制备方法,该器件利用各向异性硅刻蚀技术,剥离去除器件结构下硅衬底层和外延缓冲层,得到悬空氮化物薄膜LED光波导集成光子器件,进一步采用氮化物背后减薄刻蚀技术,获得超薄的...
王永进
朱桂遐
白丹
许银
朱洪波
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基于悬空p‑n结量子阱的光致晶体管及其制备方法
本发明提供一种基于悬空p‑n结量子阱的光致晶体管及其制备方法,利用各向异性硅刻蚀技术,剥离去除器件结构下硅衬底层,得到基于悬空氮化物薄膜p‑n结量子阱的光致晶体管,进一步采用氮化物背后减薄刻蚀技术,获得超薄的悬空器件。本...
王永进
袁威
高绪敏
蔡玮
白丹
许银
朱桂遐
袁炜
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悬空氮化物薄膜LED器件及制备方法
本发明公开了一种悬空氮化物薄膜LED器件及其制备方法,实现载体为硅衬底氮化物晶片,包括顶层氮化物器件层和硅衬底层;该方法能够实现高折射率硅衬底层和氮化物器件层的剥离,消除硅衬底层对激发光的吸收,实现悬空氮化物薄膜LED器...
王永进
白丹
施政
李欣
高绪敏
陈佳佳
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硅基氮化物材料的氧化铪悬空谐振光子器件及其制备方法
本发明公开了一种硅基氮化物材料的氧化铪悬空谐振光子器件及其制备方法,实现载体为硅衬底III族氮化物晶片外延生长一层纳米级厚度的氧化铪薄膜,包括硅衬底层,设置在硅衬底层上的氮化物层,以及外延生长在氮化物层上的氧化铪薄膜层。...
王永进
高绪敏
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