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吕燕

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院物理研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇电极
  • 1篇电极材料
  • 1篇电极对
  • 1篇电子束曝光
  • 1篇电子束曝光技...
  • 1篇制作方法

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇吕文刚
  • 1篇吕燕
  • 1篇梁文杰

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种具有纳米间隙的异质电极对的制作方法
本发明公开了一种具有纳米间隙的异质电极对的制作方法。本方法分两步制作左右电极，利用电子束曝光技术中的套刻技术，制备出一系列具有不同间隙的电极对，在保证电极对间隙大小的分布范围大于套刻的误差偏移量的前提下，可以制备出最窄间...
赵尚骞梁文杰吕文刚张余春吕燕
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