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刘昊

作品数：21 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 21篇中文专利

领域

  • 4篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 7篇圆片
  • 7篇划片
  • 4篇旋涂
  • 4篇碳化硅
  • 4篇外延层
  • 4篇芯片
  • 4篇沟道
  • 3篇多晶
  • 3篇多晶硅
  • 3篇自对准
  • 3篇外延片
  • 3篇激光
  • 3篇复合结构
  • 3篇GAN
  • 3篇衬底
  • 2篇导通
  • 2篇导通电阻
  • 2篇电阻
  • 2篇多层介质
  • 2篇压降

机构

  • 21篇中国电子科技...

作者

  • 21篇刘昊
  • 11篇柏松
  • 8篇黄润华
  • 4篇程伟
  • 4篇石归雄
  • 4篇赵岩
  • 4篇吴立枢
  • 3篇陈刚
  • 2篇刘奥
  • 2篇陶永洪
  • 2篇陈谷然
  • 2篇汪玲
  • 1篇李建平

年份

  • 1篇2023
  • 2篇2022
  • 2篇2021
  • 2篇2020
  • 2篇2019
  • 4篇2018
  • 4篇2017
  • 2篇2016
  • 2篇2014
共 21 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种集成SBD结构的单侧MOS型器件制备方法
本发明公开了一种集成SBD结构的单侧MOS型器件制备方法，通过引入特殊角度沟槽制备工艺，倾斜角度单侧离子注入工艺，与欧姆工艺兼容的肖特基金属工艺，实现了集成SBD结构的SiC沟槽MOSFET器件的制备。本发明将碳化硅SB...
李士颜柏松黄润华刘昊
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一种复合结构SiC衬底器件的切割方法
本发明是一种复合结构SiC芯片的切割方法，采用砂轮切割在划片槽区域把复合结构SiC芯片进行切割分离。通过先形成复合结构SiC芯片完成圆片；再测量其厚度；把SiC芯片完成圆片贴在切割片架上的蓝膜或UV膜上；测量其总厚度；应...
刘昊陈刚柏松
一种基于外延层转移实现N面GaN的方法
本发明是一种基于外延层转移实现N面GaN的方法，包括：1）用稀释的盐酸清洗Si基GaN、半导体圆片表面，再用去离子水进行冲洗，然后放入甩干机进行甩干；2）在Si基GaN圆片和半导体圆片的正面分别旋涂粘附剂作为键合材料，转...
吴立枢赵岩程伟刘昊石归雄
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一种碳化硅开关器件及制作方法
本发明公开了一种碳化硅开关器件及制作方法，降低沟道电阻在器件导通电阻中所占比例。本发明通过两次外延生长完成器件顶部结构加工，二次外延沟道区掺杂浓度低于侧向注入Pwell区的掺杂浓度，二次外延N+区掺杂浓度远高于侧向注入P...
黄润华柏松陶永洪汪玲刘奥李士颜刘昊
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一种多颗芯片同时制备封装使用的方法
本发明公开了一种多颗芯片同时制备封装使用的方法，该方法包括：器件芯片所在圆片布局设计优化；器件芯片具体结构设计优化；原有微加工工艺流程和难度不变；器件划片和封装使用过程简化，器件总制备成本降低。本发明通过设计优化，减小器...
陈允峰李士颜刘昊陈谷然黄润华柏松
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一种碳化硅MOSFET器件JFET区自对准掺杂工艺
本发明公开了一种碳化硅MOSFET器件JFET区自对准掺杂工艺，采用自对准的方法实现注入掺杂，对具体的自对准加工工艺，又细分为两种实现路线，一种是通过表面平整化的工艺方案，另一种是设计合适的JFET区宽度和多晶硅掩膜厚度...
陈允峰黄润华李士颜刘昊刘强柏松
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一种复合结构SiC芯片的激光分离方法
本发明公开了一种复合结构SiC芯片的激光分离方法，能够很安全地实现多层复合结构SiC圆片的切割，并且不会破坏SiC外延片正面的介质和背面的金属，大大提高了良品率和切割效率，降低了SiC生产成本。
刘昊陈刚柏松
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SiC器件背面金属体系的制备方法
本发明公开了一种SiC器件背面金属体系的制备方法，该方法是在SiC衬底背面依次蒸发金属Ni/Ti/Ni，并对SiC衬底‑金属层进行真空高温退火处理，退火后最后溅射加厚金属Ag。本发明可应用于SiC肖特基二极管的背面金属体...
刘昊
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一种在碳化硅材料上制造栅氧化层的方法
本发明涉及一种在碳化硅材料上制造栅氧化层的方法，包括以下步骤：(1)在第一温度下，氧气气氛中，在碳化硅衬底表面形成氧化层；(2)在第二温度下，氩气气氛中，将步骤(1)中形成氧化层的碳化硅衬底进行第一次高温热退火处理；(3...
费晨曦何志强柏松黄润华刘昊王谦
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一种碳化硅开关器件及制作方法
本发明公开了一种碳化硅开关器件及制作方法，降低沟道电阻在器件导通电阻中所占比例。本发明通过两次外延生长完成器件顶部结构加工，二次外延沟道区掺杂浓度低于侧向注入Pwell区的掺杂浓度，二次外延N+区掺杂浓度远高于侧向注入P...
黄润华柏松陶永洪汪玲刘奥李士颜刘昊
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