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张称

作品数：15 被引量：0H指数：0
供职机构：合肥工业大学更多>>
相关领域：电子电信机械工程化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 13篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇化学工程
  • 1篇机械工程

主题

  • 8篇电铸
  • 8篇微电铸
  • 7篇同轴
  • 6篇同轴结构
  • 5篇金属
  • 4篇光刻
  • 4篇光刻胶
  • 3篇属种
  • 3篇微结构
  • 3篇金属结构
  • 2篇旋涂
  • 2篇掩膜
  • 2篇掩膜板
  • 2篇粘稠
  • 2篇粘稠度
  • 2篇全金属
  • 2篇轴向
  • 2篇微机电系统
  • 2篇微加工
  • 2篇微器件

机构

  • 15篇合肥工业大学

作者

  • 15篇张称
  • 14篇阮久福
  • 9篇邓光晟
  • 8篇杨军
  • 5篇董耘琪
  • 5篇宋哲
  • 5篇黄波
  • 2篇桑磊
  • 2篇王小康
  • 1篇吕国强
  • 1篇杨军

传媒

  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 1篇2018
  • 6篇2017
  • 2篇2016
  • 5篇2015
  • 1篇2014
共 15 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种用于旋涂粘稠光刻胶的旋涂仪卡盘系统
本实用新型公开了一种用于旋涂粘稠光刻胶的旋涂仪卡盘系统，包括旋转轴、吸盘、支撑卡盘、E型卡盘，旋转轴位于系统的中轴线上，支撑卡盘通过铆钉与旋转轴连接，支撑卡盘沿旋转轴上下移动的位置由铆钉固定；吸盘置于旋转轴的顶端；E型卡...
张称阮久福卢怡如杨军邓光晟
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一种在金属基底上制备微同轴金属结构的方法
本发明公开一种在铜基底上制备微同轴金属结构的方法，先在铜基底上涂覆负性光刻胶，将负性光刻胶层在掩膜板下用紫外光曝光显影得到金属底层的胶膜结构后微电铸，得到金属底层；在金属底层上涂覆光刻胶并光刻显影，得支撑体，并在其上涂覆...
阮久福张称宋哲董耘琪邓光晟杨军
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一种在金属基底上制备微同轴金属结构的方法
本发明公开一种在铜基底上制备微同轴金属结构的方法，先在铜基底上涂覆负性光刻胶，将负性光刻胶层在掩膜板下用紫外光曝光显影得到金属底层的胶膜结构后微电铸，得到金属底层；在金属底层上涂覆光刻胶并光刻显影，得支撑体，并在其上涂覆...
阮久福张称宋哲董耘琪邓光晟杨军
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一种大厚度、高深宽比的全金属沟道型微结构的加工方法
本发明公开了一种大厚度、高深宽比的全金属沟道型微结构的加工方法，具体的工艺步骤为：首先在尺寸已设定的铜基片上旋涂一层SU-8光刻胶，经过前烘、曝光、后烘、显影、竖膜等工艺过程得到微电铸母模，然后再运用微电铸和去胶工艺得到...
阮久福邓光晟卢怡如张称单云冲杨军
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一种在硅基底上制备微空腔金属结构的方法
本发明公开一种在硅基底上制备微空腔金属结构的方法，即：首先在硅基底上溅射一层金属；在溅射层上涂覆正光刻胶，经曝光、显影后获得所需金属种子层；在金属种子层上再次涂覆正光刻胶，先后使用不同图案的掩膜版对该层光刻胶进行曝光；依...
阮久福宋哲董耘琪张称赵欣悦黄波
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一种用于旋涂粘稠光刻胶的旋涂仪卡盘系统
本发明公开了一种用于旋涂粘稠光刻胶的旋涂仪卡盘系统，包括旋转轴、吸盘、支撑卡盘、E型卡盘，旋转轴位于系统的中轴线上，支撑卡盘通过铆钉与旋转轴连接，支撑卡盘沿旋转轴上下移动的位置由铆钉固定；吸盘置于旋转轴的顶端；E型卡盘环...
阮久福张称卢怡如杨军邓光晟
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一种在硅基底上制备横向圆形微同轴金属结构的方法
本发明公开一种在硅基底上制备横向圆形金属微同轴结构的方法，首先在硅基底上涂覆PDMS做释放层，在释放层上生长金属种子层；分别制备SU‑8胶膜作为内导体的支撑体和KMPR光刻胶胶膜作为内外金属导体结构的胶膜结构；微电铸和去...
阮久福张称董耘琪宋哲赵欣悦黄波
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一种大厚度、高深宽比的全金属沟道型微结构的加工方法
本发明公开了一种大厚度、高深宽比的全金属沟道型微结构的加工方法，具体的工艺步骤为：首先在尺寸已设定的铜基片上旋涂一层SU‑8光刻胶，经过前烘、曝光、后烘、显影、竖膜等工艺过程得到微电铸母模，然后再运用微电铸和去胶工艺得到...
阮久福邓光晟卢怡如张称单云冲杨军
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一种用于加工交叉网状微结构的光学组件
本发明公开了一种用于加工交叉网状微结构的光学组件，包括一个光学棱镜和掩模板，光学棱镜为等腰三角形；掩模板位于光学棱镜正下方且平面与光学棱镜的光学轴互相垂直。本发明突破了商用曝光机的配置只能加工竖直沟道型微结构而不能加工交...
阮久福张称卢怡如杨军邓光晟
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模块化的微电铸装置
本实用新型公开了一种模块化的微电铸装置，包括有电铸槽、循环过滤系统、温控系统、酸碱度测量仪和电极系统，电铸槽两端侧壁分别设有进、出液口，并分别连接有进、出液管；循环过滤系统的两端分别通过进、出液管与进、出液口相连接；电铸...
阮久福张称卢怡如杨军邓光晟
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