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刘亲壮
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中国科学院合肥物质科学研究院
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合作作者
戴建明
中国科学院合肥物质科学研究院
盛志高
中国科学院合肥物质科学研究院
吴文彬
中国科学院合肥物质科学研究院
张科军
中国科学院合肥物质科学研究院
邹键
中国科学院合肥物质科学研究院
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作者
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孙玉平
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朱雪斌
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盛志高
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戴建明
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年份
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2015
1篇
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强磁场辅助脉冲激光沉积系统
本发明公开了一种强磁场辅助脉冲激光沉积系统,包括脉冲激光器、脉冲激光沉积柱状真空室,脉冲激光沉积柱状真空室包括带水冷却的双层夹套柱状腔,双层夹套柱状腔置入超导磁体的镗孔内;双层夹套柱状腔的一侧法兰盘装有基片加热台或激光加...
戴建明
张科军
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孙玉平
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强磁场辅助脉冲激光沉积系统
本发明公开了一种强磁场辅助脉冲激光沉积系统,包括脉冲激光器、脉冲激光沉积柱状真空室,脉冲激光沉积柱状真空室包括带水冷却的双层夹套柱状腔,双层夹套柱状腔置入超导磁体的镗孔内;双层夹套柱状腔的一侧法兰盘装有基片加热台或激光加...
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