韩森
- 作品数：53 被引量：105H指数：5
- 供职机构：上海理工大学光电信息与计算机工程学院更多>>
- 发文基金：国家重大科学仪器设备开发专项国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
- 纳米表面和光学透射系统波面检测关键技术与应用
- 韩森戴博陈坚王全召王浩宇王芳张齐元张凌华庄锦程刘薇黄明张大伟卢庆
- 该项目属于高精度光学计量和工业检测领域。在中国科学、技术和经济快速发展中，高精密测量，特别是纳米级精度检测技术起到了重要作用。国际上一些重大科学工程如引力波探测器(LIGO)和美国国家点火装置(NIF)中使用了大量高质量...
- 关键词：
- 关键词：光学计量
- 抑制相干噪声的照明系统仿真与误差分析
- 2023年
- 提出通过离轴照明系统抑制相干噪声的方案,设计了一种具有抑制相干噪声能力的照明系统。通过Zemax的非序列模式对照明系统进行仿真,得到了厚度为90μm的离轴环形光斑,验证了此照明系统对相干噪声的抑制能力。将其作为19.05 mm(3/4英寸)Fizeau干涉仪的光源,设置对比实验,光源波长为632 nm,设置圆形噪点尺寸为120μm~500μm和尺寸为100μm×350μm的划痕。对设计的照明系统进行误差分析,优化照明系统成像质量,调整干涉系统参数,最终在照明光环宽度为42μm、干涉腔长为15 mm情况下,干涉条纹的对比度提升至97.60%。
- 齐先豪韩森张凌华吴先钰程俊边小月
- 关键词：相干噪声
- 一种高精度通用的数据采集系统的设计与实现被引量：1
- 2017年
- 为了保证激光干涉仪内部的压电陶瓷驱动器(PZT)能够精准地工作,PZT的驱动电路系统的有效位数必须达到12位。文中介绍了一种基于ADS1255的高精度通用的数据采集系统。如何使用高精度的ADS1255模数转换芯片,文中给出了硬件和软件设计方法并作了详细的说明。该设计以TI公司的24位∑-Δ型模数转换芯片ADS1255和16位数模转换芯片AD5062为核心,以STC公司的STC89C58RD+为控制器,采用串口通信的方式将ADS1255采集到的数据进行输出并保存。最后再通过MATLAB编程对得到的数据进行分析处理,由数据结果可得到电路系统的有效位数为13位并同时验证了数据采集系统的准确性[1-2]。
- 王芳殷留留李宇琛孙昊韩森李春杰韩凯王全召
- 关键词：模数转换数模转换
- 一种大口径平面镜支撑结构的仿真与实验
- 2024年
- 为提高600 mm大口径立式平面镜沿光轴旋转90°后的表面面型测量精度,对多孔支撑结构下5种不同材料的平面镜重力变形进行有限元仿真分析,并通过实验测量探究旋转后的静置时间对面型精度的影响等问题。结果表明,该多孔支撑结构下的平面镜表面由重力导致的轴向变形量不超过14 nm,满足精度要求。该多孔结构支撑的平面镜沿光轴旋转90°静置1 h后达到稳定状态,与静置2 h后的面型结果PV值仅相差0.337 nm,RMS值相差0.081 nm,实验探究了静置时间对面型结果的影响。研究发现,在至多去除6%外口径的条件下可以大幅降低平面镜表面面型PV值,PV值降低超过50 nm,由此提出一种制造大口径平面镜时通过设置支撑结构缓冲区以提高面型精度的方法,可以有效提高大口径平面镜的面型精度。
- 王全全王彦钧韩森徐春凤
- 关键词：有限元仿真
- 回转内圆柱面的非拼接干涉测量方法被引量：1
- 2017年
- 介绍了一个特殊结构的干涉测试方法和系统,基于Fizeau(菲索)干涉原理,通过一高精度直角圆锥镜来实现圆柱坐标系与直角坐标的转换。该系统可以用来测量360°回转圆柱的表面形貌,并且无需图像拼接,可一次性获取整周的面形数据。通过对系统主成分误差的计算分析,及Matlab软件数值仿真,建立了圆柱坐标系下的误差校正矩阵。并针对一环形样品进行实际测量,测试结果经过主成分误差校正后,与Taylor Hobson接触式圆柱度仪的测量结果一致,通过最小二乘圆(LSC)的圆度评定方法计算得到的圆度误差值十分接近。实验结果表明:该测量方法可有效地实现圆柱体整周表面形貌的测量,解决了目前回转光学元件的测量难度大、测试效率低等问题。
- 孙昊韩森唐寿鸿王芳
- 双面抛光晶圆干涉测量法及误差分析
- 2023年
- 为了实现双面抛光晶圆总厚度变化(TTV)和变形程度中弯曲度(Bow)和翘曲度(Warp)的测量,提出了一种干涉测量方法。采用两个带有标准镜的菲索式相移干涉仪对晶圆正反面同时进行测量,将测量所得晶圆正反面形貌与未放置晶圆时两个干涉仪的空腔形貌进行组合运算,可得到不受标准镜误差影响的双面抛光晶圆的表面相关参数。在组合运算中,由于两个标准镜未精确对准会产生映射误差,影响相关参数的测量结果。针对这一问题,在晶圆测量之前,将三点定位装置固定在两个标准镜之间,基于三点定圆定理不断调整两个标准镜的位置,可使映射误差极小,进而减小映射误差对测量结果的影响。实验结果表明,50 mm晶圆横向和纵向的映射误差分别为21.592μm和37.480μm,TTV、弯曲度和翘曲度分别为0.198μm、−0.326μm和1.423μm。为了进一步验证调整方法的有效性,采用单个干涉仪对晶圆进行翻转测量,由测量结果可知晶圆的TTV、弯曲度和翘曲度分别为0.208μm、−0.326μm和1.415μm。所提干涉法在调整好两个标准镜的位置后,可以方便快速的用于大批量大尺寸晶圆的测量,提高了晶圆的检测效率,同时具有较高的测量精度。
- 边小月韩森吴泉英
- 关键词：误差分析翘曲度
- 基于有限元分析的光学透镜半柔性支撑结构
- 2020年
- 光学透镜的面形精度是影响干涉仪等光学系统性能的重要因素之一。其中光学透镜的自重是引起透镜的面形发生变化的主要原因。为了提高由光学透镜的面形精度,设计了一种具有辅助刚体的光学透镜半柔性支撑结构。通过Abaqus有限元分析软件,模拟出在半柔性支撑结构下光学透镜自重对其自身面形的影响。分析的最终结果表明:光学透镜的上表面与下表面的面形RMS值分别为3.51 nm和4.64 nm。由此可以得出,设计的具有辅助刚体的光学透镜半柔性支撑结构可以充分满足干涉仪等光学系统对光学透镜面形的精度要求。
- 邱炯捷韩森
- 关键词：有限元分析光学透镜
- 菲佐干涉仪可变波长标准球面镜头设计
- 2021年
- 菲佐激光干涉仪使用的标准球面镜头通常只能在特定波长下使用。提出了一种通过调整镜头内部透镜间隔来改变其工作波长的方法,利用该方法设计了两款可变波长标准球面镜头,口径为19.05mm,镜头光圈系数分别为5.6和8。镜头在各目标波长下的参考波前质量均满足设计要求,并分析了公差容限以确保镜头具有可实际加工性。根据可变波长标准镜头的装调和工作原理设计了机械结构,并研制出光圈系数为8的实验镜头,测得其透射波前峰谷值在标准632.8nm激光干涉仪下小于λ/10(λ为入射光的波长),镜头的实际加工误差在容限范围内。使用多波长激光干涉装置和实验镜头测量了同一球面元件的面形,在5种波长下测量结果基本一致,实验结果表明,可变波长标准镜头可以用于实际检测。该类镜头的研发节约了检测成本,提高了标准镜头在激光干涉测量中的利用率,该镜头具有较高的工程应用价值。
- 王艳张齐元王全召陈秋白王芳许帅韩森
- 关键词：成像系统光学设计面形测量
- 优化选择标准球面镜头的方法
- 根据本发明所涉及的优化选择标准球面镜头的方法，包括以下步骤：步骤S1，设计根据被测样品的参数值自动筛选出符合要求的光学镜头的筛选程序，步骤S1‑1，当测样品镜头为凹面镜时，判断f是否大于F，当结果为是时，选择3/4英寸的...
- 韩森叶欣唐寿鸿李雪园王全召
- 基于ABAQUS/FE-SAFE的光学透镜多弹片支撑结构寿命分析
- 2020年
- 多弹片支撑结构是光学透镜支撑领域新兴的一种支撑方式,但由于弹片的寿命不明导致了多弹片结构没有广泛的应用。为了得到光学透镜多弹片支撑结构的寿命,通过基于有限元软件Abaqus中的Fe-safe功能对多弹片结构在受透镜重力情况下进行寿命分析。本文旨在考虑到光学透镜多弹片支撑结构寿命方面的分析,为日后学者提供参考和借鉴。
- 邱炯捷韩森
- 关键词：ABAQUS有限元分析支撑结构光学透镜
