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余平

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：上海电力学院自动化工程学院更多>>
发文基金：上海市重大科技攻关项目更多>>
相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇专利

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇数据设备
  • 1篇通信
  • 1篇通信器件
  • 1篇同步数据
  • 1篇投影仪
  • 1篇图像
  • 1篇图像反馈
  • 1篇前馈
  • 1篇前馈补偿
  • 1篇温度
  • 1篇温度控制
  • 1篇激光笔
  • 1篇光笔
  • 1篇ALD

机构

  • 2篇上海电力学院

作者

  • 2篇余平
  • 1篇娄春宏
  • 1篇杨宁

传媒

  • 1篇自动化与仪器...

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
反馈式投影仪系统
本发明涉及一种反馈式投影仪系统，包括外壳，外壳前端有镜头，镜头下方有图像传感器，外壳内部有控制器、光学成像模块和光源；外壳底部有通信器件、信号灯和手控按键；通信器件和控制器相连；外壳顶部有与控制器相连的信号输入接口，信号...
周奇聪师新跃娄春宏狄芬芬余平
文献传递
ALD反应腔分区加热控制被引量：1
2015年
在原子层沉积系统(Atomic layer deposition)ALD的薄膜生长工艺流程中,关键部分在于对工艺腔室内部温度和压强的控制。由于ALD反应腔内部温度控制具有非线性、滞后性及时变性,本文通过对反应腔采取分区加热的方法,使用西门子TIA博途软件自带的具有抗积分饱和功能的PID控制器,加上前馈补偿PID控制算法,很好地解决了反应腔内温度均匀性这一问题。并通过实验实测数据和仿真,得出整个温度控制范围误差控制在5℃‰。
杨宁余平狄芬芬
关键词：ALD温度控制前馈补偿
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