朱文华
- 作品数：58 被引量：55H指数：4
- 供职机构：南京理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省自然科学基金江苏省普通高校研究生科研创新计划项目更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 用于位相缺陷检测的反射式剪切点衍射干涉仪被引量：5
- 2018年
- 为了实现光学元件位相缺陷的大视场、高分辨率、瞬态检测,设计了一种基于无镜成像算法的反射式剪切点衍射干涉仪。该干涉仪通过在参考光与测试光之间引入横向错位量,形成高密度线性载频,利用快速傅里叶变换算法从单幅干涉图中提取待测波面信息,实现缺陷的瞬态测量。利用无镜成像算法抑制了缺陷的衍射效应,总结了有效的缺陷类型辨别方法。实验检测了强激光系统中的一块光学平晶,验证了所提缺陷类型判据的正确性。此外,采用反射式剪切点衍射干涉仪对一块激光毁伤的光学平板进行检测,测试结果与Veeco NT9100白光干涉仪测量结果相比,相对误差为2.1%。结果表明,该干涉仪能够有效应用于检测大口径光学元件的位相缺陷。
- 马云陈磊刘一鸣朱文华
- 用于液晶盒表面面形检测的短相干载频干涉方法被引量：2
- 2020年
- 液晶盒表面面形的质量会影响空间光调制器的性能。为了精确测量液晶盒表面面形,提出了短相干载频干涉方法。利用短相干扩展光源进行照明,产生的参考光和测试光之间形成定域干涉,通过控制参考面和液晶盒表面之间的倾角,引入合适的载频,得到待测载频干涉条纹;同时空液晶盒空气层上下表面干涉,形成背景干扰条纹,从而在CCD相机中采集到混叠有一组干扰条纹的单幅载频干涉图。通过空间傅里叶变换方法滤除背景和干扰条纹的频率信息,提取并恢复待测条纹包含的面形数据。实验检测了两块玻璃基片错位粘合制成的液晶盒表面面形,解算出波面峰谷值PV为8.286λ,波面均方根值RMS为1.782λ。使用该方法和ZYGO干涉仪进行的对比实验中PV值和RMS值分别相差0.023λ和0.004λ,两种测量方法得到的结果一致。该方法能够克服多表面干涉的问题,实现液晶盒表面面形的精确测量。
- 杨光陈磊胡晨辉张正宇朱文华
- 关键词：液晶盒傅里叶变换面形检测
- 斜入射反射型点衍射板及其干涉测量方法
- 本发明公开了一种斜入射反射型点衍射板及其干涉测量方法。该点衍射板的基底采用折射率均匀的光学玻璃，且该光学玻璃为平行平板结构；所述基底的入射面上部镀有增透膜、下部镀有介质膜，基底的反射面上部镀有高反膜、下部镀有增透膜；所述...
- 陈磊朱文华韩志刚李金鹏郑东晖李建欣乌兰图雅
- 高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪
- 本发明公开了一种高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪，它主要由光源、单筒干涉显微镜、图像采集系统、控制源、驱动源、移相器和工控机组成。其优点是体积小、抗振性能好、可满足光学、微电子、机械等领域超精密加工元件的高精度在线...
- 陈磊郑东晖张瑜朱文华胡芬李金鹏韩志刚万骏宋乐周舒陈宇琪谷晨风郑权
- 短相干斐索动态干涉仪
- <正>动态干涉仪能够实现对光学元件面形及瞬态波前的实时检测,在天文光学、强激光、核聚变多个领域中发挥了重要作用。目前大部分动态干涉仪均采用空间分光和偏振器件移相的方案,参考光和测试光不共光路,在一定程度上降低了测量精度,...
- 孙沁园陈磊张瑞郑东晖朱文华
- 文献传递
- 短相干菲索动态干涉仪关键技术研究
- <正>为了实现光学元件面形的动态干涉测量,提出了一种基于短相干光源和偏振相机的同步移相斐索型干涉测量方案。使用迈克耳孙干涉光路产生一组具有一定光程差的正交偏振光作为光源,通过调节待测面和参考面之间距离使得返回的参考光和测...
- 张瑞陈磊朱文华郑东辉孙沁园
- 文献传递
- 一种变倾角相移掠入射干涉仪测量装置及方法
- 本发明公开了一种变倾角相移掠入射干涉仪测量装置及方法。该装置包括光源变倾角相移调制组件、主干涉仪系统、折反镜和和成像系统；由光源变倾角相移调制组件出射倾斜准直光束进入主干涉仪系统，在主干涉仪系统中通过等腰棱镜传递，近掠入...
- 陈磊刘致远丁煜孔璐吴志飞郑东晖郑权朱文华王冲杨光
- 文献传递
- 基于轴锥镜的贝塞尔光生成及其相位检测
- <正>轴锥镜法能够简单高效的生成贝塞尔光束,而入射光的相位及轴锥镜的加工误差却严重影响着贝塞尔光的质量。文章提出一种新的思路,通过生成贝塞尔光的光强恢复出轴锥镜的相位,进而得到其加工误差。利用基尔霍夫衍射理论及稳相法,结...
- 刘炳琦马骏朱日宏高志山朱文华王磊
- 文献传递
- 电调谐波长移相干涉术被引量：5
- 2018年
- 为了实现一体化结构干涉仪的现场数字化检测,提出了一种电调谐波长移相干涉术,通过控制注入电流,调制半导体激光器(LD)的波长,从而实现时域移相干涉。通过优化传统的随机移相干涉模型,采用最小二乘求解线性回归模型迭代算法求解相位,抑制了电调谐的控制精度有限、LD非线性引起的不等间隔移相,以及环境震动引起的各采样点位相变化不同步的干扰。将该方法应用于现场检测的便携式斐索干涉仪上,利用其与Zygo GPI XP/D型干涉仪测量同一块光学平晶,测量结果的峰谷值偏差为9.91 nm,均方根值偏差为5.22 nm,能满足现场定量检测的精度要求。该方法还可以应用于其他类型的激光干涉仪中。
- 丁煜陈磊王志华朱文华刘致远
- 关键词：半导体激光器电流调制
- 变倾角移相法测量反射棱镜的光学平行差被引量：1
- 2019年
- 为解决棱镜等效展开为玻璃平板后因腔长固定导致的移相困难问题,提出一种变倾角移相测量反射棱镜光学平行差的方法.通过改变光束在反射棱镜入射端面上的倾角在干涉图中引入移相量,实现干涉图中的相位提取.采用最小二乘法拟合相位计算反射棱镜的光学平行差.在实验中,测试了一块弦长为56.5mm的等腰直角棱镜,得到直角偏差Δ90°为2.1435″、锐角偏差δ45°为--4.6216″、直角边对应棱差γc为0.3554″,而Zygo GPI干涉仪仅可得到棱镜直角偏差,与本文方法的测量值偏差在0.15″以内.所提方法移相光路设计简便,并可实现小尺寸反射棱镜的测量.
- 王冲陈磊吴志飞杨光郑东晖朱文华
- 关键词：光学测量反射棱镜
