刘玉倩
- 作品数：12 被引量：10H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 光刻版清洗工艺及设备研究
- 2013年
- 光刻版的洁净程度直接影响到光刻的效果,定期对光刻版进行清洗是保证光刻版洁净的必要手段。根据光刻版污染物的特点介绍了多种光刻版清洗工艺,并介绍了相关工艺设备的种类及组成,最后通过试验考查了工艺设备的使用效果。
- 刘永进刘玉倩宋文超
- 关键词：光刻版
- 基于Canopen协议的运动控制系统设计被引量：2
- 2011年
- 描述了一种最广泛应用的现场总线CAN和最为成功的CAN应用层协议Canopen,介绍了CAN+Canopen工业控制总线解决方案,重点阐述了这种解决方案在一种工业控制模型中的实现。同时对软件设计、设备调试中的问题提出解决方案,对系统效率、可靠性进行测试优化。
- 刘玉倩张文靳卫国王慧
- 关键词：CANCANOPEN运动控制软件编程
- 清洗系统在晶圆减薄后的应用
- 2016年
- 根据集成电路晶圆的不同用途,分析了晶圆减薄后,残留的污染物对后续工艺的影响;提出了一种集成在减薄机内部的清洗系统,根据清洗目标,配套了完整的清洗方案。
- 刘玉倩高津平
- 关键词：晶圆
- 光刻版清洗工艺及设备研究被引量：2
- 2013年
- 光刻版的洁净程度直接影响到光刻的效果,定期对光刻版进行清洗是保证光刻版洁净的必要手段。根据光刻版污染物的特点介绍了多种光刻版清洗工艺及相关设备的种类及组成,最后通过试验考查了工艺设备的使用效果。
- 刘永进刘玉倩宋文超
- 关键词：光刻版
- 全自动硅片清洗设备的多线程软件设计
- 2015年
- 介绍了硅片的全自动单片湿法工艺设备的基本结构,重点阐述了此设备的控制逻辑及优化方案。在软件的开发过程中,采用多线程设计,提高了设备的生产效率和可靠性。
- 刘玉倩陈仲武侯为萍高建利
- 关键词：自动化硅片湿法多线程
- 半导体设备异常处理机制方法的研究
- 2011年
- 针对半导体设备自动化水平的不断提高,设计一种多线程多等级划分的异常处理机制,并根据设备自身特性,灵活采用软硬件结合或软件异常处理方式去处理设备的异常。
- 宫晨宋丽娟刘玉倩
- 关键词：半导体设备多线程异常处理
- 多线切割机运行参数记录方法的研究
- 2014年
- 多线切割机完成一次切割的过程中产生大量的运行参数,这些运行参数表明了切割过程对产品品质的影响,需要进行记录。对采用数据库和CSV文件方法记录运行参数的比较表明:使用CSV文件记录多线切割机的运行参数简单可靠,易于查看,能够满足运行参数记录的要求。
- 高建利刘玉倩侯为萍
- 关键词：多线切割机
- 基于PLC的温度控制系统设计被引量：4
- 2014年
- 在工业控制设备中,温度控制直接决定设备工艺效果。介绍了一种基于OMRON公司EJ1模块式温控器的温度控制系统,工控机通过以太网与PLC通讯,通过软硬件设计达到温度控制效果。利用VC++编程平台编写软件,建立友好的人机交互界面,设置每个温区的温度并进行实时监控。
- 刘玉倩宫晨马鹏飞
- 关键词：以太网温度控制远程监控
- 设计模式在光刻版清洗系统软件设计中的应用被引量：1
- 2014年
- 设计模式代表了成功的可复用的优秀设计经验,在系统设计中引入设计模式将有效地提高系统的可扩展性和可维护性。在光刻版清洗系统软件设计中引入了设计模式,介绍了设计模式的概念及使用,描述了单件模式,策略模式和适配器模式在光刻版清洗系统软件设计中的应用。经实践检验,设计模式的应用,增强了设计的灵活性,提高了软件的可扩展性和复用性。该方法具有较高的理论和实践意义。
- 侯为萍高建利刘玉倩
- 关键词：设计模式软件设计
- 一种腐蚀清洗设备中的特异气体监测及处理
- 2017年
- 在湿法腐蚀清洗设备工艺过程中,使用盐酸和磷酸腐蚀表面材料为磷化铟的晶圆片,会产生一种有毒性的特异气体;针对这种特异气体,设计了一种对反应腔体内、设备内及室内的气体监测处理系统。
- 刘玉倩关宏武高津平宋文超
