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闫鹏

作品数：34 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 32篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 15篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 25篇解耦
  • 20篇终端
  • 20篇终端平台
  • 14篇驱动器
  • 10篇大行程
  • 6篇运动解耦
  • 6篇光栅
  • 6篇测量方法
  • 5篇厘米级
  • 5篇并联
  • 4篇掩模
  • 4篇水平度
  • 4篇伺服
  • 4篇连接件
  • 4篇模片
  • 4篇纳米
  • 4篇纳米级
  • 4篇控制平台
  • 4篇并联式
  • 3篇电机

机构

  • 34篇清华大学
  • 1篇北京航空航天...
  • 1篇山东大学

作者

  • 34篇闫鹏
  • 32篇张震
  • 16篇王鹏
  • 6篇柳铮
  • 6篇刘志青
  • 2篇杨晓东
  • 2篇刘鹏博
  • 2篇刘衍
  • 2篇叶佩青
  • 2篇汤佳骏

年份

  • 1篇2021
  • 4篇2020
  • 2篇2019
  • 5篇2018
  • 8篇2017
  • 6篇2016
  • 3篇2015
  • 1篇2014
  • 3篇2013
  • 1篇2006
共 34 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
抗扭转并联双驱运动解耦伺服平台
本发明公开了一种抗扭转并联双驱运动解耦伺服平台，包括：基座；下层和上层直线电机组；解耦组件；支撑组件，连接组件和伺服运动平台。根据本发明实施例的抗扭转并联双驱运动解耦平台，采用抗扭转并联双驱式结构，通过平台正下方两层交错...
张震王鹏刘衍闫鹏
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紧凑型多层纳米伺服平台
本发明公开了一种紧凑型多层纳米伺服平台，所述紧凑型多层纳米伺服平台包括：基座；终端平台；X向和Y向驱动器；第一Y向柔性解耦件和第一X向柔性导向件，第一Y向柔性解耦件与终端平台和X向驱动器相连，第一X向柔性导向件与X向驱动...
张震汪昌明王鹏闫鹏
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二维纳米柔性运动平台
本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台，包括：基座；终端平台；X向连接杆和Y向连接杆；两个X向柔性导向件，两个X向柔性导向件分别与X向连接杆的两端相连；两个Y向柔性导向件，两个Y向柔性导向件分别与Y向连接杆的两端相连；两个...
张震刘志青闫鹏
二维纳米伺服平台
本发明公开了一种二维纳米伺服平台，所述二维纳米伺服平台包括：基座；终端平台；X向和Y向驱动器；第一X向和第一Y向刚性连接件，第一X向刚性连接件沿X向延伸且与X向驱动器相连，第一Y向刚性连接件沿Y向延伸且与Y向驱动器相连；...
张震汪昌明闫鹏
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二维纳米伺服平台及采用光栅的测量方法
本发明公开了一种二维纳米伺服平台，所述二维纳米伺服平台包括：基座；终端平台；X向和Y向驱动器；分别与X向驱动器和Y向驱动器相连的第一X向和第一Y向刚性连接件；第一Y向和第一X向柔性解耦件；第一和第二X向柔性导向件，第一Y...
张震汪昌明王鹏闫鹏
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紧凑型多层纳米伺服平台
本发明公开了一种紧凑型多层纳米伺服平台，所述紧凑型多层纳米伺服平台包括：基座；终端平台；X向和Y向驱动器；第一Y向柔性解耦件和第一X向柔性导向件，第一Y向柔性解耦件与终端平台和X向驱动器相连，第一X向柔性导向件与X向驱动...
张震汪昌明王鹏闫鹏
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抗扭转并联双驱运动解耦伺服平台
本发明公开了一种抗扭转并联双驱运动解耦伺服平台，包括：基座；下层和上层直线电机组；解耦组件；支撑组件，连接组件和伺服运动平台。根据本发明实施例的抗扭转并联双驱运动解耦平台，采用抗扭转并联双驱式结构，通过平台正下方两层交错...
张震王鹏刘衍闫鹏
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二维纳米柔性运动平台及其光栅测量方法
本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台及其光栅测量方法，所述二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台；X向连接杆和Y向连接杆；两个X向柔性导向件；两个Y向柔性导向件；两个X向柔性解耦件；两个Y向柔性解耦件；X向驱动器和Y向...
张震杨晓东崔梦嘉闫鹏
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大行程二维纳米伺服平台及采用光栅的测量方法
本发明公开了一种大行程二维纳米伺服平台和采用光栅的测量方法。所述大行程二维纳米伺服平台包括：基座；终端平台；X向和Y向驱动器；与X向驱动器相连的第一X向刚性连接件和与Y向驱动器相连的第一Y向刚性连接件；第一Y向和第一X向...
张震王鹏汪昌明闫鹏
新型阶梯式准直管结构
本发明公开了一种应用于直写式真空蒸发系统的防掩模孔堵塞及避免粒子散射现象的新型阶梯式准直管结构。所述阶梯式准直管结构包括：基座，掩模片，准直管；第一粒子反射阻挡台阶，所述第一粒子反射阻挡台阶处于准直管内上部，并与准直管上...
张震柳铮闫鹏鲁帅帅
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