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钱亚男

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团第十一研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 4篇探测器
  • 4篇焦平面
  • 4篇焦平面探测器
  • 4篇光刻
  • 4篇光刻胶
  • 2篇探测器芯片
  • 2篇涂胶
  • 2篇涂胶机
  • 2篇内外温差
  • 2篇铟柱
  • 2篇温差
  • 2篇金属
  • 2篇刻蚀
  • 2篇刻蚀工艺
  • 2篇基板
  • 2篇红外
  • 2篇红外焦平面
  • 2篇红外焦平面探...
  • 2篇长宽比

机构

  • 4篇中国电子科技...

作者

  • 4篇张敏
  • 4篇诸子玲
  • 4篇钱亚男
  • 2篇孙浩
  • 2篇刘明

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2018
  • 1篇2015
  • 1篇2013
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种红外焦平面探测器基板及其制造方法
本发明提供的红外焦平面探测器基板及其制造方法，方法包括：将预定尺寸的基板以预定溅射方式进行金属沉积，再以预设涂胶方法在基板表面涂光刻胶，在将光刻胶加热固化后，采用光刻对准工艺对基板进行曝光，使基板上需要进行刻蚀的金属部分...
张敏刘明钱亚男诸子玲
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一种红外焦平面探测器基板及其制造方法
本发明提供的红外焦平面探测器基板及其制造方法，方法包括：将预定尺寸的基板以预定溅射方式进行金属沉积，再以预设涂胶方法在基板表面涂光刻胶，在将光刻胶加热固化后，采用光刻对准工艺对基板进行曝光，使基板上需要进行刻蚀的金属部分...
张敏刘明钱亚男诸子玲
焦平面探测器铟柱的光刻方法及装置
本发明公开了一种焦平面探测器铟柱的光刻方法及装置，该方法包括：在金属化处理后的探测器芯片上涂覆光刻胶；将涂覆完光刻胶的所述探测器芯片进行烘烤；将烘烤完的所述探测器芯片进行离焦光刻，得到显影后呈倒梯形的厚胶图形；将离焦光刻...
张敏诸子玲孙浩钱亚男
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焦平面探测器铟柱的光刻方法及装置
本发明公开了一种焦平面探测器铟柱的光刻方法及装置，该方法包括：在金属化处理后的探测器芯片上涂覆光刻胶；将涂覆完光刻胶的所述探测器芯片进行烘烤；将烘烤完的所述探测器芯片进行离焦光刻，得到显影后呈倒梯形的厚胶图形；将离焦光刻...
张敏诸子玲孙浩钱亚男
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