郑立功
- 作品数：130 被引量：536H指数：15
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家杰出青年科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学化学工程自动化与计算机技术更多>>
- 大口径高陡度空间光学非球面反射镜立式加工方法及装置
- 大口径高陡度空间光学非球面反射镜立式加工方法及装置，涉及光学加工领域，解决了现有非球面反射镜的接触式加工存在的加工效率低、成本高、精度低的问题。首先向射频线圈通冷却水，向中间管通高纯氩气，向外管通高纯氩气；调节射频电源功...
- 王旭郑立功
- 文献传递
- 基于子孔径拼接法测量高精度反射镜被引量：2
- 2014年
- 为了解决高精度光学反射镜的子孔径拼接检测问题,基于最小二乘拟合,依据拼接算法建立数学模型,编制了拼接程序,同时对口径为Φ120mm的平面反射镜进行了拼接检测。检测中,基于标记点确定子孔径间的相对位置,完成子孔径间的对准。分别基于全口径检测结果与自检验子孔径测试结果对拼接结果进行精度分析。实验结果表明:拼接结果无"拼痕",拼接结果与全口径测试结果、自检验子孔径测试结果一致;拼接结果与全口径面形测试的PV值与RMS值的偏差分别为0.020λ与0.002λ,验证了检测的可靠性和准确性。
- 郑立功
- 关键词：光学检测子孔径拼接最小二乘拟合
- 用于CCOS加工过程中防止磨头发生翻转的装置
- 本发明用于CCOS加工过程中防止磨头发生翻转的装置涉及非球面反射镜的光学加工领域，该装置包括四个行程开关（1）、行程开关固定套件（2）和PMAC控制卡（3），四个行程开关（1）分别固定在行程开关固定套件（2）上，并通过第...
- 王旭李锐钢郑立功
- 文献传递
- 计算全息法零位补偿检测自由曲面反射镜
- 计算全息图(CGH)技术是实现自由曲面光学检测的重要检测手段之一，为了实现一凸自由曲面的高精度面形检测、精确定位和光路对准，使用自行开发的CGH 设计软件，设计完成了同时具有面形检测、检测光路对准和被检自由曲面反射镜定位...
- 张斌智郑立功
- 文献传递
- 等离子体化学刻蚀设备中的可更换喷嘴ICP发生装置
- 本发明公开了一种等离子体化学刻蚀设备中的可更换喷嘴ICP发生装置，属于光学曲面镜加工精密加工装置技术领域。该ICP发生装置包括喷嘴、等离子体炬管、套设于等离子体炬管外的感应线圈、高压特斯拉点火线圈、射频电源和匹配器，射频...
- 王旭薛栋林张学军刘泉郑立功
- 一种离轴三反非球面光学系统共基准检测与加工方法
- 本发明公开一种离轴三反非球面光学系统共基准检测与加工方法，一、分别对主反射镜和第三反射镜进行加工直至各单镜全口径干涉检测面形的RMS值均优于1/10λ，λ为激光干涉仪工作波长；二、根据设计参数，设计并加工用于固定主反射镜...
- 张学军王孝坤薛栋林郑立功张峰
- 文献传递
- 利用计算机对非球面检验光学系统进行调整的方法
- 本发明针对利用计算机对非球面检验光学系统进行调整的方法。首先完成系统光路的粗装调，然后实时采集一幅干涉图，获得被检非球面镜的波像差，利用赛德尔像差多项式作为基底拟合获得被检非球面镜失调引入波像差，根据拟合波像差与失调引入...
- 薛栋林郑立功张学军
- 文献传递
- 一种光学球面曲率半径的检测方法
- 一种光学球面曲率半径的检测方法，涉及光学球面曲率半径的测量方法，它解决了现有测量光学球面的曲率半径的方法存在误差，并且现有测量方法较难精确实现对大曲率半径的球面镜进行测量的问题，其方法为：调整靶标球与干涉仪的相对位置，判...
- 王孝坤李锐刚郑立功张学军
- 基于迭代梯度算法的子孔径拼接检测技术研究被引量：3
- 2014年
- 为了解决粗大调整误差下大口径光学平面镜的子孔径拼接检测问题,基于迭代梯度算法,建立了一套合理的拼接算法和数学模型,同时编制了拼接程序。结合工程实例,利用Φ600mm干涉仪实现了对Φ800mm平面镜的拼接测量。检测中,基于靶标对各子孔径实现对准,拼接所得面形光滑连续无狭缝。实验结果表明,利用迭代梯度算法可以高精度地完成粗大调整误差下大口径平面镜的拼接检测。
- 郑立功闫力松王孝坤薛栋林胡海翔张学军
- 关键词：光学检测子孔径拼接
- 一种精确测量光学球面曲率半径的方法被引量：17
- 2011年
- 在简要总结各种检测光学球面曲率半径方法优缺点的基础上,提出了利用激光跟踪仪和激光干涉仪测量光学球面曲率半径的新方法。首先,通过激光跟踪仪精确定位测量干涉仪出射球面波前的焦点和待测球面镜的曲率中心点坐标,再调整待测球面镜与干涉仪的相对位置,使待测球面镜达到零条纹干涉状态,用激光跟踪仪测定此时待测球面镜上多点的位置坐标,通过计算分析即可得到待测球面镜的曲率半径。研究和分析了这种测量光学球面曲率半径方法的基本原理,并提出了针对凸球面镜曲率半径的多区域测定平均综合优化的方法。结合实例对一口径为400mm的球面透镜进行了曲率半径的测量,测量得到其两面曲率半径分别为1022.283mm(凸面)和4069.568mm(凹面),并将该透镜进行了轮廓法测量对比,其相对误差都小于0.05%。
- 王孝坤郑立功
- 关键词：光学测量曲率半径激光跟踪仪干涉仪
