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袁明权

作品数：33 被引量：54H指数：4
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金：中国工程物理研究院科学技术发展基金国家自然科学基金中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 19篇期刊文章
  • 10篇专利
  • 4篇会议论文

领域

  • 12篇电子电信
  • 7篇机械工程
  • 7篇自动化与计算...
  • 3篇金属学及工艺
  • 3篇理学
  • 2篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 14篇加速度
  • 14篇感器
  • 14篇传感
  • 14篇传感器
  • 11篇速度传感器
  • 11篇加速度传感器
  • 8篇键合
  • 7篇电阻
  • 7篇压敏电阻
  • 7篇微机械加速度...
  • 5篇微电子
  • 5篇微电子机械
  • 5篇微电子机械系...
  • 5篇固有频率
  • 4篇阳极键合
  • 4篇体声波
  • 4篇激光
  • 4篇MEMS
  • 3篇电路
  • 3篇顶面

机构

  • 33篇中国工程物理...
  • 3篇西南科技大学
  • 1篇复旦大学
  • 1篇南京邮电大学
  • 1篇名古屋大学
  • 1篇西安理工大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇重庆大学
  • 1篇中国空气动力...

作者

  • 33篇袁明权
  • 13篇张茜梅
  • 11篇武蕊
  • 9篇孙远程
  • 9篇屈明山
  • 8篇彭勃
  • 7篇王海青
  • 5篇高杨
  • 4篇熊壮
  • 4篇刘婷婷
  • 3篇凌宏芝
  • 3篇唐彬
  • 3篇苏伟
  • 3篇赵俊武
  • 3篇王雄
  • 3篇雷强
  • 3篇邱华诚
  • 2篇吴嘉丽
  • 2篇谭刚
  • 2篇陈颖慧

传媒

  • 5篇强激光与粒子...
  • 4篇微纳电子技术
  • 2篇信息与电子工...
  • 2篇传感器与微系...
  • 1篇国外电子元器...
  • 1篇半导体技术
  • 1篇激光技术
  • 1篇激光杂志
  • 1篇探测与控制学...
  • 1篇中国惯性技术...
  • 1篇第十一届全国...
  • 1篇四川省电子学...

年份

  • 2篇2018
  • 3篇2017
  • 4篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 9篇2013
  • 1篇2011
  • 2篇2010
  • 2篇2009
  • 2篇2008
  • 1篇2007
  • 2篇2006
  • 1篇2005
  • 2篇2001
共 33 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
激光点火系统用高功率光纤光开关被引量：1
2011年
仿真和实验研究了一种控制Nd:YAG脉冲激光能量通断的光纤直接连接型光开关。建立光纤耦合模型,分析了光纤对准误差中对耦合效率的影响,其中横向偏移的影响最显著。采用微机电系统V型槽固定光纤,微小型凸轮作为制动器,步进电机驱动凸轮旋转,微小型凸轮与移动光纤相切,带动光纤移动,实现两光纤的错开和对准。制造了这种高功率直接连接型光纤光开关原理样机,并进行了主要性能测试。测试结果表明,这种光开关能够满足激光点火系统的大容量、高隔离度的要求。
赵兴海杨波单光存高杨杨晴吴嘉丽谭刚苏伟袁明权张茜梅屈明山
关键词：激光点火
基于无掩模腐蚀技术的高性能微加速度传感器被引量：1
2016年
针对深沟槽内结构制作困难的问题,基于单晶硅各向异性腐蚀原理,推导了{100}单晶硅在KOH溶液中无掩模腐蚀过程台阶宽度与无掩模腐蚀深度之间的解析表达式,通过工艺实验确定了单晶硅{311}面与{100}面的腐蚀速率比;采用适合于三明治微加速度传感器硅芯片制作的无掩模腐蚀成型工艺流程,实现了深沟槽内悬臂梁的准确成型,研制出一种±100 gn量程的微加速度传感器。样品测试表明:运用无掩模腐蚀技术制作的微加速度传感器相对精度优于6×10^(-5),灵敏度为17.78 m V/g_n。
袁明权唐彬孙远程熊壮彭勃
关键词：微机械加工微加速度传感器各向异性腐蚀无掩模阳极键合
体声波壁面剪切应力传感器
本发明公开了体声波壁面剪切应力传感器，包括基底、支撑层、检测元件、敏感元件、外壳、上盖板和读出电路，基底位于支撑层下方，支撑层、外壳和上盖板之间形成一空腔结构；支撑层上安装位于空腔内的检测元件，检测元件上安装敏感原件；敏...
高杨赵俊武雷强王雄邱华诚刘婷婷袁明权张茜梅
文献传递
激光落料在陶瓷基片工艺中的摸索与应用
本文对数控CO<,2>激光器设备进行了介绍,在工艺实践中,根据数控CO<,2>激光器的特点和加工产品的具体参数,设计编出相应的加工工艺图形和加工参数程序,并设计出相应的加工夹具。可实现复杂精密陶瓷类产品的加工。
李福军袁明权凌宏芝
关键词：二氧化碳激光器陶瓷片加工夹具
文献传递
无粘连键合技术与伺服型±70g微加速度传感器被引量：1
2008年
为了解决电容极板间隙低至3μm时传感器键合封接后内部活动部件粘连失效的问题,介绍了一种利用去除部分Au层的办法来抑制小间隙键合粘连,通过严控元件表面生产质量,合理地设计伺服控制器,制作的微加速度传感器已经达到了±70g的量程,单边线性二次项系数10-6量级,残差控制在15mg以内,相对精度达到了2×10-4,达到了设计要求。
彭勃袁明权丁元萍李红武蕊张茜梅王艳丽
关键词：微加速度传感器伺服控制器量程
基于圆片级阳极键合封装的高g_n值压阻式微加速度计被引量：3
2013年
设计了一种适合于高gn值压阻式微加速度计圆片级封装的结构,解决了芯片制造工艺过程中电极通道建立、焊盘保护、精确划片等关键技术。采用玻璃—硅—玻璃三层阳极键合的方式进行圆片级封装,较好地解决了芯片密封性、小型化和批量化等生产难题。在4 in生产线上制作的高gn值压阻式微加速度计样品,尺寸仅为1 mm×1 mm×0.8 mm;对传感器进行的校准与抗冲击性能测试,结果表明:样品具备105gn的抗冲击能力、0.15μV/gn/V的灵敏度以及200 kHz的谐振频率。
袁明权孙远程张茜梅武蕊屈明山熊艳丽
关键词：微机电系统圆片级封装微加速度计压阻阳极键合
用于微齿轮制作的厚胶光刻工艺
采用UV-LIGA技术制作微齿轮的关键是获得高质量的胶膜结构。运用SU8和ARP3220两种光刻胶进行大量工艺试验，均获得厚度大于50μm的光刻胶膜微齿轮结构，为后续微电铸成型微齿轮提供了基本保障。
武蕊郑英彬袁明权
关键词：微齿轮光刻工艺
单晶硅各向异性湿法刻蚀的研究进展被引量：9
2013年
单晶硅各向异性湿法刻蚀是制作硅基微电子机械系统(MEMS)器件的重要步骤之一,由于具有刻蚀均匀性好、批量大、成本低的优点而深受关注。首先回顾了单晶硅各向异性湿法刻蚀的刻蚀机理,比较了三种常用各向异性刻蚀液的刻蚀性质,讨论了刻蚀形状的控制技术。然后着重介绍了表面活性剂修饰的单晶硅各向异性湿法刻蚀速率和刻蚀表面光滑度等特性,以及面向MEMS应用的基于该刻蚀技术的各种微纳新结构;分析了表面活性剂分子在刻蚀过程中的作用,强调了表面活性剂分子在单晶硅表面的吸附性对改变刻蚀表面的物理性质的重要性。最后在此基础上,归纳了单晶硅各向异性湿法刻蚀的发展情况,探讨了其未来的发展方向。
唐彬袁明权彭勃佐藤一雄陈颖慧
关键词：单晶硅湿法刻蚀各向异性表面活性剂
基于微电铸的非硅MEMS加速度传感器
2006年
简单介绍了Silicon Design公司开发的非硅MEMS传感器的设计、工艺、输出信号的处理技术。通过巧妙设计和使用铸Ni技术成功地改善了梁的扭摆特性。实测结果表明,10g产品的输出交流噪声有效值和漂移被分别控制在0.4mV和4 mV;50g产品虽然漂移偏大,但其线性系数K2还是达到了10-3～10-4的水准。
彭勃袁明权赵龙
关键词：微电铸加速度传感器漂移残差
基于体硅湿法的高性能微加速度传感器技术被引量：2
2005年
低的输出噪声、小的上电漂移和强的抗扰能力是高性能微加速度传感器的基本要求。利用一些结构和电路上有针对性的设计,可以有效地提高器件在这三方面的性能。实际制作的样品表明,传感器开环的输出噪声已被控制在0.3μV/Hz,上电稳定后的漂移在100μV内。
彭勃袁明权
关键词：漂移抗干扰
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