蔡晓
- 作品数：16 被引量：19H指数：2
- 供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 热光调谐平顶响应全介质Fabry-Perot滤波器
- 该论文旨在制作一种由Si和SiO<,2>介质膜形成的具有平顶响应特性的全介质滤波器.提出了一种台阶型FP腔结构的平顶滤波器实现方法.根据该方法,滤波器的共振腔分成具有不同厚度的两个部分,并且两个部分的光照射面积相等.由于...
- 蔡晓
- 关键词：FABRY-PEROT
- 平顶响应的热光可调谐Fabry-Perot滤波器被引量：6
- 2004年
- 制作了一种平顶响应的热光可调谐滤波器,通过用湿法腐蚀方法将半波长的共振腔分成具有不同光学厚度的两部分,并且使入射光照射到两部分的面积基本上相等,实现平顶响应特性。对该滤波器的输出响应进行检测,实验结果与理论模拟符合,相对透射率的极大值与极小值间的起伏度小于0.01。与实现平顶响应的其他方法相比,本滤波器器件的制作工艺简单,平顶性能优越,容易与其他有源和无源光子器件集成。还给出了制作几十μm量级的共振腔实现平顶窄带响应的热光可调谐滤波器的机理,其输出响应的起伏度小于0.02,3dB带宽小于1nm。
- 蔡晓左玉华王启明
- 关键词：可调谐滤波器可调谐3DB带宽光子器件极小值
- 具有90nm调谐范围的1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器(英文)被引量：1
- 2003年
- 利用表面微机械技术 ,成功制作了 1.3μm Si基 MOEMS可调谐光滤波器 .原型器件在 5 0 V的调谐电压下 ,调谐范围为 90 nm.该技术可以用于制作 1.3μm Si基可调谐光探测器 .
- 左玉华黄昌俊成步文蔡晓毛容伟李传波罗丽萍高俊华白云霞姜磊马朝华朱家廉王良臣余金中王启明
- 关键词：MOEMS可调谐滤波器
- 具有平顶输出响应的窄带Fabry－Perot滤波器
- 一种具有平顶输出响应的窄带Fabry-Perot滤波器，包括：一基片；一下分布式布拉格反射镜，该下分布式布拉格反射镜制作在基片的上面，一下Fabry-Perot腔，该下Fabry-Perot腔制作在下分布式布拉格反射镜的...
- 蔡晓左玉华王启明
- 文献传递
- 平顶和陡峭带边响应的窄带热光调谐Fabry－Perot滤波器
- 一种具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry－Perot滤波器，包括：一基片；一下分布式布拉格反射镜，该下分布式布拉格反射镜制作在基片的上面；一Fabry－Perot腔，该Fabry－Perot腔制作在下分布式布拉格反射镜...
- 蔡晓左玉华王启明
- 文献传递
- 具有平顶响应的窄带热光可调谐法布里－珀罗滤波器
- 一种具有平顶响应的窄带热光可调谐法布里－珀罗滤波器，包括：一基片；一第一布拉格反射镜，该第一布拉格反射镜制作在基片上，该第一布拉格反射镜是滤波器的下反射镜；一腔体，该腔体制作在第一布拉格反射镜上，该腔体是滤波器的腔体，决...
- 左玉华蔡晓赵雷时文华成步文余金中王启明
- 文献传递
- 随机生长误差对双腔型平顶法布里珀罗滤波器的影响被引量：1
- 2006年
- 在光网络中平顶滤波器可以有效地提高信道光检测的快速性和准确性。利用两个法布里珀罗腔间的串联耦合,可以构建出具有平顶透射特性的双腔型法布里珀罗滤波器。采用传输矩阵的方法,研究了随机生长误差对双腔型平顶滤波器透射特性的影响。模拟分析表明,当两个法布里珀罗腔的物理厚度差超过一个纳米时,在透射谱中就会出现两个高度不同的透射峰;解释了实测器件的透射谱中的双峰不对称性;用界面起伏的概念解释了实测滤波器带宽大于理论值的原因。理论分析与实验结果取得了较好的一致。
- 蔡晓左玉华毛容伟王启明
- 关键词：光学器件法布里-珀罗腔传输矩阵
- 平顶和陡峭带边响应的窄带热光调谐Fabry－Perot滤波器
- 一种具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，包括：一基片；一下分布式布拉格反射镜，该下分布式布拉格反射镜制作在基片的上面；一Fabry-Perot腔，该Fabry-Perot腔制作在下分布式布拉格反射镜...
- 蔡晓左玉华王启明
- 文献传递
- 155μm非晶硅热光F-P腔可调谐滤波器(英文)
- 2003年
- 介绍了一种Si基热光Fabry Perot (F P)腔可调谐滤波器 .F P腔由电子束蒸发的非晶硅构成 .利用非晶硅的热光效应 ,通过对Si腔加热 ,改变F P腔的折射率 ,从而引起透射峰位的红移 .该原型器件调谐范围为 1 2nm ,透射峰的FWHM (峰值半高宽 )为 9nm ,加热效率约为 0 1K/mW .精确控制DBR(分布式Bragg反射镜 )生长获得高反射率镜面是减小带宽的有效途径 ;通过改进加热器所处位置及增强散热能力 。
- 左玉华蔡晓毛容伟黄昌俊成步文李传波罗丽萍高俊华白云霞姜磊马朝华王良臣余金中王启明
- 关键词：热光效应FABRY-PEROT可调谐滤波器非晶硅
- 热光调谐滤波器的高温性能分析
- 2005年
- 研究了热处理对Si基热光Fabry-Perot(F-P)腔可调谐滤波器的影响,用原子力显微镜分析了高温热退火前后的器件表面变化.发现随着退火温度的升高,器件的透射峰发生蓝移,同时透射峰强度及DBR(distributed Braggreflector)反射率下降.透射峰蓝移是非晶硅和SiO2致密后折射率增大而厚度减小,最终导致DBR中心波长偏短所致;DBR反射率下降和透射峰强度的下降是高温下表面和界面变得起伏较大所致.
- 左玉华毛容伟李传波赵雷蔡晓成步文王启明
- 关键词：热光效应FABRY-PEROT可调谐滤波器
