蔡伟
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：信息产业部电子第五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程电气工程更多>>
- 梳齿式MEMS加速度计在冲击下的失效分析被引量：1
- 2009年
- 对Si基梳齿式MEMS加速度计在冲击下进行了失效分析,验证了其主要失效模式,分析了其失效机理。通过机械冲击实验并采用扫描电镜(SEM)、X射线透视系统、扫描声学显微镜(SAM)观察及电性能测试等分析技术,研究了梳齿式MEMS加速度计在冲击载荷下的结构与封装失效,运用材料力学理论加以分析论证,发现悬臂梁断裂是较为主要的失效模式,且此类器件的封装失效主要表现为气密性失效和装配工艺失效,为MEMS器件的可靠性设计提供了重要依据。
- 林宙峰蔡伟徐爱斌庄志强
- 关键词：微电子机械系统加速度计
- 固体钽电解电容器结构、特点和失效机理的研究
- 本文论述了固体钽电解电容器常见的结构、特点,以及相应的失效模式和失效机理,并配以典型案例对这些失效模式和失效机理进行了阐述。
- 蔡伟刘欣
- 关键词：电解电容器固体钽电容
- 文献传递
- 硅基梳齿式MEMS器件及封装的失效调查被引量：1
- 2011年
- 对典型硅基梳齿式MEMS器件进行失效调查和分析,验证其主要失效模式,分析其失效机理。利用电子扫描显微镜(SEM)、X射线透视系统、扫描声学显微镜(SAM)、X射线能谱成份分析(EDX)、金相切片分析、封装气体分析及电性能测试等分析技术,发现在工艺制造中的机械失效是造成此类器件失效的主要原因。另外,此类器件的封装失效主要表现为气密性失效和装配工艺失效。
- 蔡伟林宙峰李少平恩云飞
- 关键词：微机电系统封装失效模式
