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范丽娜

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：西安交通大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇电路
  • 2篇子层
  • 2篇阻挡层
  • 2篇金薄膜
  • 2篇扩散阻挡层
  • 2篇集成电路
  • 2篇合金
  • 2篇合金薄膜
  • 2篇超大规模集成
  • 2篇超大规模集成...
  • 2篇大规模集成电...
  • 1篇ZRN
  • 1篇纯铜
  • 1篇RU

机构

  • 2篇西安交通大学

作者

  • 2篇何国华
  • 2篇吴汇焱
  • 2篇钱旦
  • 2篇李雁淮
  • 2篇宋忠孝
  • 2篇徐可为
  • 2篇范丽娜

年份

  • 2篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种自形成梯度Zr/ZrN双层扩散阻挡层及其制备方法
本发明提供了一种自形成梯度Zr/ZrN双层扩散阻挡层及其制备方法，扩散阻挡层包括衬底、沉积在衬底上并作为种子层和自析层的Cu(Zr)合金薄膜、植入于衬底和Cu(Zr)合金薄膜之间并作为预阻挡的纳米晶ZrN，以及沉积在Cu...
宋忠孝何国华李雁淮钱旦范丽娜吴汇焱徐可为
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一种Ru-RuO/Ru-Ge-Cu自形成双层非晶扩散阻挡层及其制备方法
本发明提供了一种Ru-RuO/Ru-Ge-Cu自形成双层非晶扩散阻挡层及其制备方法，扩散阻挡层体系包括衬底、沉积在衬底上并作为种子层和析出层的Cu(Ru)合金薄膜、植入于衬底和Cu(Ru)合金薄膜之间并作为预阻挡和耗尽层...
宋忠孝何国华李雁淮钱旦范丽娜吴汇焱徐可为
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