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胡庆杰
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西安交通大学
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韩枫
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蒋庄德
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张坤
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作者
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韩枫
11篇
胡庆杰
9篇
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年份
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2015
3篇
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1篇
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一种基于表面等离子体的波导光耦合器及其制备工艺
一种基于表面等离子体的波导光耦合器及其制备工艺。首先在半导体硅(Si)上制备氧化锌(ZnO)薄膜,然后在此薄膜上溅射银(Ag)颗粒,从而制备出光耦合器的波导层。通过优化波导结构和几何参数,产生表面等离子体增强效果,从而使...
杨树明
韩枫
李磊
张坤
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一种集成光子芯片及其制备方法
一种集成光子芯片及其制备方法。首先制备基于纳米线阵列的可调谐激光器、集成波导型光隔离器、基于表面等离子体的光耦合器和光探测器,并把以上器件制作成为单独的‘子芯片’。在此基础上,把这些单独的‘子芯片’通过混合集成的方法集成...
杨树明
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一种基于纳米线阵列的可调谐激光器及其制备工艺
一种基于纳米线阵列的可调谐激光器及其制备工艺。所研制的可调谐激光器由纳米线阵列构成,纳米线阵列中不同的纳米线的材料组分不同,任何单根纳米线都是相对独立的激光器。因为每根纳米线的组分不同,所以每根纳米线可以发出不同波长的光...
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一种集成光子芯片及其制备方法
一种集成光子芯片及其制备方法。首先制备基于纳米线阵列的可调谐激光器、集成波导型光隔离器、基于表面等离子体的光耦合器和光探测器,并把以上器件制作成为单独的‘子芯片’。在此基础上,把这些单独的‘子芯片’通过混合集成的方法集成...
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一种用于在单纳米线上制备电极的方法
本发明公开一种用于在单纳米线上制备电极的方法,该方法用来在纳米线的特定位置上制备电极实现电接触,主要通过纳米线的转移、分散,电子束光刻套刻和纳米薄膜沉积等微纳米制造工艺实现,本发明方法的主要特点是使用Al薄膜作为电子束光...
杨树明
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一种用于纳米表面形貌在线测量的集成系统
一种用于纳米表面形貌在线测量的集成系统。该系统由集成光子芯片和测量探头两个主要部分组成,光子芯片由基于纳米线阵列的可调谐激光器、集成波导型光隔离器、基于表面等离子体的光耦合器和光探测器集成产生,而测量探头由准直透镜、光栅...
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一种基于纳米线阵列的可调谐激光器及其制备工艺
一种基于纳米线阵列的可调谐激光器及其制备工艺。所研制的可调谐激光器由纳米线阵列构成,纳米线阵列中不同的纳米线的材料组分不同,任何单根纳米线都是相对独立的激光器。因为每根纳米线的组分不同,所以每根纳米线可以发出不同波长的光...
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一种用于纳米表面形貌在线测量的集成系统
一种用于纳米表面形貌在线测量的集成系统。该系统由集成光子芯片和测量探头两个主要部分组成,光子芯片由基于纳米线阵列的可调谐激光器、集成波导型光隔离器、基于表面等离子体的光耦合器和光探测器集成产生,而测量探头由准直透镜、光栅...
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一种基于表面等离子体的波导光耦合器及其制备工艺
一种基于表面等离子体的波导光耦合器及其制备工艺。首先在半导体硅(Si)上制备氧化锌(ZnO)薄膜,然后在此薄膜上溅射银(Ag)颗粒,从而制备出光耦合器的波导层。通过优化波导结构和几何参数,产生表面等离子体增强效果,从而使...
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一种新型集成波导型光隔离器及其制备工艺
一种新型集成波导型光隔离器及其制备工艺。光隔离器与激光器一起使用,起到保护激光器的作用。所研制的集成波导型光隔离器基于铈-钇铁石榴石(CeYIG)薄膜,通过匀胶、前烘、曝光、显影、坚膜、湿法刻蚀和去胶等工艺步骤完成磁光薄...
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