- 激光照排技术光栅光阀设计和制作
- 激光照排机采用电子计算机编辑排版系统，把书稿输入到计算机内，书稿内容经过计算机而转换成点阵信息。我们提出采用微机电系统（Micro electro—mechanical system，MEMS）技术制作的光栅光阀（Gra...
- 耿煜
- 关键词：光栅光阀光刻微加工激光照排技术
- 文献传递
- 一种全彩色显示系统
- 本发明公开了一种全彩色显示系统。它由一个或多个全彩色显示单元组成或者一个或多个全彩色显示单元与一个或多个光栅光阀组成，全彩色显示单元依次放置有光源、光频调制光栅阵列、选频光阑、透镜耦合器、第一光栅光阀、级次选择光阑，在光...
- 耿煜侯昌伦张巍
- 文献传递
- 一种全彩色显示系统
- 本发明公开了一种全彩色显示系统。它由一个或多个全彩色显示单元组成或者一个或多个全彩色显示单元与一个或多个光栅光阀组成，全彩色显示单元依次放置有光源、光频调制光栅阵列、选频光阑、透镜耦合器、第一光栅光阀、级次选择光阑，在光...
- 耿煜侯昌伦张巍
- 文献传递
- 光栅光阀器件的结构改进与制作工艺研究被引量：1
- 2009年
- 根据光栅光阀的工作原理,在结构上对传统的光栅光阀器件进行了改进,分析了改进后光栅光阀器件的光学特性、结构特性,以及制作工艺流程.改进后的光栅光阀结构中硅基底上设有二氧化硅隔离层,隔离层上沉积无定形硅作为牺牲层,可动梁的材料是氮化硅,固定梁为蒸镀的金属铝层.通过离子刻蚀的方法刻蚀图形,用化学腐蚀方法掏空牺牲层得到所需桥梁状结构.研究表明改进后的器件黑区范围小,驱动电压较低,光学效率较高,具有潜在的应用前景.
- 张巍耿煜侯昌伦杨国光
- 关键词：光栅光阀微加工刻蚀
