申雪飞
- 作品数：13 被引量：15H指数：3
- 供职机构：北京工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市属高等学校人才强教计划资助项目北京市教委重点项目更多>>
- 相关领域：电子电信医药卫生理学机械工程更多>>
- 神经电信号检测系统
- 本发明公开一种神经电信号检测系统，包括：微电极阵列采集单元，采集神经元的原始电信号；多通道控制单元，与微电极阵列采集单元连接，控制信号处理单元与数据采集单元之间的连接通道；信号处理单元，与所述多通道控制单元连接，对采集的...
- 张烁陈涛申雪飞
- 激光微加工表面质量改善的工艺实验研究
- 本文应用准分子激光器进行微结构加工，用拉曼光谱、红外谱、AFM和三维形貌分析仪等测试手段分析准分子激光刻蚀聚合物微通道的加工机理，根据激光成形机制，通过多种工艺手段改善激光微加工表面质量，改善表面粗糙度。 文中总结了准...
- 申雪飞
- 关键词：微流控芯片
- 文献传递
- 准分子激光刻蚀ITO薄膜制备透明电极的实验研究
- 采用准分子激光微加工技术加工ITO透明电极，分析了准分了激光对玻璃和ITO薄膜的不同刻蚀阈值。借助高倍显微镜和三维形貌仪，讨论了准分子激光能量密度和工作台移动速度对电极加工质最的影响，最后指出在准分子激光对玻璃和ITO薄...
- 申雪飞陈涛刘世炳宋海英陈继民
- 关键词：微加工ITO薄膜透明电极准分子激光
- 文献传递
- 电泳沉积装置及其采用电泳沉积法制备薄膜的方法
- 本发明提供一种电泳沉积装置及其制备薄膜的方法，装置包括：电泳槽；绝缘板，放在电泳槽的敞口端，其上有通孔，通孔内壁上有凹槽或凸起；阳极固定板，放在凹槽或者凸起上；阳极，一端连接在阳极固定板，另一端伸入电泳槽；多个阴极，外包...
- 陈涛关维申雪飞
- 文献传递
- CO_2激光直写PMMA微通道工艺改进的实验研究被引量：4
- 2011年
- 采用CO2激光直写加工技术在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片表面直写微通道,分析了CO2激光扫描速度和加工次数对加工质量的影响。在加工次数相同的情况下,微通道宽度和深度与扫描速度成反比,在一定速度范围内,微通道深度与扫描速度呈近似线性关系;在扫描速度一定的情况下,微通道的深度和宽度随着加工次数的增加逐渐增大,微通道宽度与加工次数呈不规则幂函数关系。分别在表面光滑、表面打毛和表面附着水膜的基片上加工微通道,并对通道的几何尺寸和粗糙度进行了比较分析。在2种不同实验条件下加工出水力直径为80μm的微通道,并对微通道的相对粗糙度进行比较,发现通过在基片表面附着水膜的方法可以有效地降低相对粗糙度。这种工艺改进,能够使采用CO2激光直写法加工PMMA基微流控芯片更可行。
- 申雪飞陈涛
- 关键词：激光技术微通道CO2激光
- 吸盘式装夹装置
- 一种吸盘式装夹装置，包括：装夹主体，在中部贯通开设有长条形的激光出光口，在上述激光出光口的附近沿着其长度方向开设有长条形状的凹槽式的空腔，还设有与该空腔连通的导气通道；吸附面板，设置在该装夹主体的上表面，覆盖上述装夹主体...
- 陈涛申雪飞
- 文献传递
- 一种非硅MEMS微通道组的制作方法
- 一种非硅MEMS微通道组的制作方法，涉及电子器件生产技术领域。本发明首先用用涂胶机在圆形玻璃基片上均匀甩涂光刻胶，制得均匀胶层玻璃基板；再用准分子激光直写法在第一步所得均匀涂胶的玻璃基片刻蚀微通道结构，得到胶层模板；再对...
- 陈涛申雪飞
- 文献传递
- 光纤激光诱导背面干法刻蚀制备二元衍射光学元件被引量：5
- 2012年
- 为了降低激光直接辐照透明介电材料的表面加工粗糙度和激光能量密度刻蚀阈值,提高微光学元件的产出率,介绍了一种用固体介质作吸收层,激光直接作用在透明光学材料上进行微纳加工的激光诱导背面干法刻蚀工艺。首先,选用95氧化铝陶瓷作固体材料辅助吸收层,应用中心波长为1 064nm的掺镱光纤激光器,在3.2mm厚的熔融石英玻璃表面刻蚀了亚微米尺度的二维周期性光栅结构。然后,对刻蚀参数进行拟合并探讨了激光能量密度对刻蚀参数的影响。最后,观察该二元光学元件的衍射花样图形并讨论其衍射特性。实验制备了槽深为4.2μm,槽底均方根粗糙度小于40nm,光栅常数为25μm的二维微透射光栅,其刻蚀阈值低于7.66J/cm2。结果表明,应用该工艺制备二维透射光栅,降低了激光刻蚀透明材料的密度阈值及加工结构的表面粗糙度。
- 陈继民何超周伟平申雪飞
- 关键词：激光刻蚀微纳加工
- 电泳沉积装置及其采用电泳沉积法制备薄膜的方法
- 本发明提供一种电泳沉积装置及其制备薄膜的方法，装置包括：电泳槽；绝缘板，放在电泳槽的敞口端，其上有通孔，通孔内壁上有凹槽或凸起；阳极固定板，放在凹槽或者凸起上；阳极，一端连接在阳极固定板，另一端伸入电泳槽；多个阴极，外包...
- 陈涛关维申雪飞
- 准分子激光微加工技术结合模塑技术加工微流控芯片被引量：6
- 2011年
- 利用准分子激光微加工技术与模塑技术相结合的方法制造微流控芯片。用准分子激光在玻璃基胶层上刻蚀出加工质量较高的微流控生物芯片形貌,通过电铸技术对微流控芯片进行复制,得到反向金属模具。用金属模具通过注塑成型技术用聚碳酸酯注塑出微流控芯片。系统研究了准分子激光的能量密度和工作台移动速度对胶层微通道加工质量的影响;测量并分析了激光刻蚀加工出的微流控芯片原型、电铸的反向金属模板和注塑成型后的微流控芯片的轮廓精度和表面粗糙度,上表面尺度偏差不大于2μm,底面粗糙度小于20 nm。对注塑出的微流控芯片和激光直写刻蚀的几何结构相同的微流控芯片的流动性能进行比较测试。在流速较小时,用激光微加工技术与模塑技术相结合的方法加工的微通道比准分子激光直写法所加工的微通道流动性能更好。
- 申雪飞陈涛吴靖轩
- 关键词：激光技术准分子激光微加工模塑技术
