您的位置： 专家智库 > >

甘柳忠

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学技术大学信息科学技术学院合肥微尺度物质科学国家实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇退火
  • 2篇退火处理
  • 2篇ZNO:AL
  • 1篇导电薄膜
  • 1篇载流子
  • 1篇载流子浓度
  • 1篇制备工艺及性...
  • 1篇透明导电
  • 1篇透明导电薄膜
  • 1篇光电
  • 1篇ZNO:AL...
  • 1篇AZO薄膜

机构

  • 2篇中国科学技术...

作者

  • 2篇甘柳忠
  • 1篇黄烽
  • 1篇谢斌
  • 1篇吴炳俊
  • 1篇李明

传媒

  • 1篇中国科学技术...

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
氢气气氛中后续退火处理对ZnO:Al薄膜光电性能的影响
2010年
利用自由基辅助磁控溅射法在载玻片衬底上制备了透明导电ZnO:Al薄膜(简称AZO薄膜).研究了氢气气氛中后续退火处理对Al掺杂效率以及AZO薄膜性能的影响.研究结果表明,退火处理提高Al的掺杂效率、降低中性杂质浓度,从而提高了AZO薄膜的导电性能.AZO薄膜550℃下在H2气氛中退火处理后,其电阻率为6.5×10-4Ω·cm,550nm波长的透射率为85.7%,载流子浓度为3.3×1020cm-3,迁移率为29.7cm2·V-1·s-1.
甘柳忠吴炳俊黄烽李明谢斌
关键词：AZO薄膜
ZnO：Al透明导电薄膜的自由基辅助磁控溅射制备工艺及性能表征
透明导电ZnO∶Al(AZO)薄膜因其优异的电学和光学性能而被应用于太阳能电池和平板显示等领域。AZO透明导电薄膜因其原材料丰富且无毒性，是取代ITO成为下一代透明导电材料的有力竞争者。自由基辅助溅射镀膜机(Radica...
甘柳忠
关键词：透明导电薄膜载流子浓度退火处理
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0