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高珺
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2
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供职机构:
大连理工大学材料科学与工程学院
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
陈涛
大连理工大学材料科学与工程学院
雷明凯
大连理工大学材料科学与工程学院
曹保胜
大连理工大学材料科学与工程学院
吴志立
大连理工大学材料科学与工程学院
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大连理工大学
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吴志立
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曹保胜
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陈涛
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高珺
年份
2篇
2006
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Fe/Ti纳米多层薄膜的热稳定性研究
采用双室高真空磁控溅射装置在溅射功率和工作气压分别为60 W、0.5 Pa和80 W、0.9 Pa 两种工艺条件下直流磁控溅射沉积了调制比为1、设计调制周期18.0 nm的Fe/Ti纳米多层薄膜。实测调制周期分别为15....
吴志立
陈涛
曹保胜
高珺
雷明凯
关键词:
热稳定性
金属间化合物
文献传递
Fe/Ti纳米多层薄膜的热稳定性研究
采用双室高真空磁控溅射装置在溅射功率和工作气压分别为60W、0.5Pa和80W、0.9Pa两种工艺条件下直流磁控溅射沉积了调制比为1、设计调制周期18.0nm的Fe/Ti纳米多层薄膜。实测调制周期分别为15.6nm和19...
吴志立
陈涛
曹保胜
高珺
雷明凯
关键词:
热稳定性
金属间化合物
文献传递
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