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韩伟华

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院理化技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇双光子
  • 2篇涂敷
  • 2篇激光
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻胶
  • 2篇光子

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇张严波
  • 2篇陈述
  • 2篇杨富华
  • 2篇段宣明
  • 2篇曹洪忠
  • 2篇颜伟
  • 2篇董贤子
  • 2篇赵震声
  • 2篇韩伟华

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
利用激光双光子直写技术制作微纳结构器件的方法
本发明涉及一种利用激光双光子直写技术制作微纳结构器件的方法。该方法包括以下步骤：在衬底上涂敷光刻胶形成光刻胶层；用激光束照射所述光刻胶，通过激光双光子吸收效应对所述光刻胶的指定位置进行曝光；对所述光刻胶进行显影；将所得到...
段宣明陈述曹洪忠韩伟华颜伟张严波董贤子杨富华赵震声
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利用激光双光子直写技术制作微纳结构器件的方法
本发明涉及一种利用激光双光子直写技术制作微纳结构器件的方法。该方法包括以下步骤：在衬底上涂敷光刻胶形成光刻胶层；用激光束照射所述光刻胶，通过激光双光子吸收效应对所述光刻胶的指定位置进行曝光；对所述光刻胶进行显影；将所得到...
段宣明陈述曹洪忠韩伟华颜伟张严波董贤子杨富华赵震声
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