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陈韬

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 2篇学位论文
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 5篇纳米
  • 5篇纳米棒
  • 4篇氧化锌纳米
  • 4篇氧化锌纳米棒
  • 4篇微电子
  • 3篇晶体管
  • 2篇电学
  • 2篇电学特性
  • 2篇旋涂
  • 2篇阳极氧化铝
  • 2篇阳极氧化铝模...
  • 2篇氧化铝模板
  • 2篇氧化锌
  • 2篇迁移
  • 2篇迁移率
  • 2篇纳米孔
  • 2篇纳米孔洞
  • 2篇纳米压印
  • 2篇纳米压印技术
  • 2篇纳米氧化锌

机构

  • 8篇复旦大学

作者

  • 8篇陈韬
  • 6篇屈新萍
  • 4篇万景
  • 4篇刘书一
  • 3篇茹国平
  • 2篇邓少任
  • 2篇陆冰睿
  • 2篇蒋玉龙
  • 1篇谭晶晶
  • 1篇李炳宗
  • 1篇谢琦
  • 1篇段鹏
  • 1篇周觅

传媒

  • 1篇Journa...
  • 1篇第十三届全国...

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2011
  • 2篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2006
  • 1篇2005
  • 1篇2004
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
一种基于纳米压印技术的图形化生长氧化锌纳米棒阵列的方法
本发明属于微电子技术领域，具体为一种基于纳米压印技术的图形化生长氧化锌纳米棒阵列的方法。本发明首先利用纳米压印技术在透明衬底上制作出图形化的金属和氧化锌籽晶层构成的双层结构，然后旋涂紫外负光刻胶并利用背光刻技术做出纳米孔...
邓少任屈新萍陈韬刘书一万景陆冰睿
文献传递
一种纳米氧化锌场效应晶体管的制作方法
本发明属于微电子技术领域，具体涉及一种纳米氧化锌场效应晶体管的制作方法。其特点在于：通过选择性淀积籽晶层实现氧化锌纳米棒的定向生长，在薄膜晶体管的源漏电极之间横向生长氧化锌纳米棒作为导电沟道层，利用单晶氧化锌纳米棒优良的...
陈韬屈新萍刘书一万景茹国平蒋玉龙
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一种基于纳米压印技术的图形化生长氧化锌纳米棒阵列的方法
本发明属于微电子技术领域，具体为一种基于纳米压印技术的图形化生长氧化锌纳米棒阵列的方法。本发明首先利用纳米压印技术在透明衬底上制作出图形化的金属和氧化锌籽晶层构成的双层结构，然后旋涂紫外负光刻胶并利用背光刻技术做出纳米孔...
邓少任屈新萍陈韬刘书一万景陆冰睿
文献传递
一种纳米氧化锌场效应晶体管的制作方法
本专利属于微电子技术领域，具体涉及一种纳米氧化锌场效应晶体管的制作方法。其特点在于：通过选择性淀积籽晶层实现氧化锌纳米棒的定向生长，在薄膜晶体管的源漏电极之间横向生长氧化锌纳米棒作为导电沟道层，利用单晶氧化锌纳米棒优良的...
陈韬屈新萍刘书一万景茹国平蒋玉龙
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Ni与非晶SiGe薄膜的反应特性研究
本文用X射线衍射方法(XRD),四探针薄层电阻测试(FPP)等方法研究了Ni与PVD制备了非晶SiGe的反应特性.
屈新萍段鹏陈韬李炳宗
关键词：金属诱导结晶非晶薄膜
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超薄Ru/TaN双层薄膜作为无籽晶铜互连扩散阻挡层
2006年
研究了钌(Ru)/氮化钽(TaN)双层结构对铜的扩散阻挡特性,在Si(100)衬底上用离子束溅射的方法沉积了超薄Ru/TaN以及Cu/Ru/TaN薄膜,在高纯氮气保护下对样品进行快速热退火,用X射线衍射、四探针以及电流-时间测试等表征手段研究了Ru/TaN双层结构薄膜的热稳定性和对铜的扩散阻挡特性.同时还对Ru/TaN结构上的铜进行了直接电镀.实验结果表明Ru/TaN双层结构具有优良的热稳定性和扩散阻挡特性,在无籽晶铜互连工艺中有较好的应用前景.
谭晶晶周觅陈韬谢琦茹国平屈新萍
关键词：钌铜互连扩散阻挡层
基于模型驱动架构开发流程的研究与应用
软件系统的发展趋势是越来越复杂，需要实现的功能越来越多。为了实现如此复杂的功能，新的软件技术也不断推陈出新。其中，面向对象技术就是目前主流的代表性技术之一。面向对象带来的好处不胜枚举，而其发展的高级阶段就是用模型代表系统...
陈韬
关键词：模型驱动架构
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ZnO薄膜的制备及其晶体管性能研究
ZnO-TFT具有低温生长、高迁移率以及全透明的优点,具有取代Si基器件成为下一代薄膜晶体管技术的可能,有很大的应用前景。而其材料特性、器件和工艺特性等方面还有很多前沿的科学问题值得研究。本文围绕着“ZnO薄膜的制备”和...
陈韬
关键词：ZNO薄膜ZNO纳米棒阵列
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